公开(公告)号：CN105092904A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201410185540.1

申请日：2014-05-04

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 夏长奉 ,  徐伯强 ,  顾坚俭

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/00

Abstract: 一种MEMS硅片固定装置，包括台盘、第一定位条、第二定位条以及第三定位条，所述第一定位条、第二定位条以及第三定位条设于同一水平面，所述第一定位条和第二定位条固定在所述台盘上，所述第三定位条的一端通过设置连接点与所述台盘侧边的基座活动连接。本发明不会出现真空吸附方式所引起的MEMS硅片内部敏感片的形变。

公开(公告)号：CN104422561B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310379615.5

申请日：2013-08-27

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 顾坚俭 ,  徐伯强

IPC: G01L27/00

Abstract: 本发明提供一种用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法。该检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个通孔相对应，多个固定装置构造为能够在承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个通孔处，且通孔构造为能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置具有进气口和出气口，承载装置密封连接至出气口，且承载装置的与第一表面相对的第二表面面向压力输送装置，使得压力传感器的受压面面向压力输送装置。该检测设备可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。

公开(公告)号：CN105352656A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201410371305.3

申请日：2014-07-30

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 徐伯强 ,  顾坚俭 ,  张新伟 ,  苏佳乐

IPC: G01L25/00

CPC classification number: G01L27/00

Abstract: 本发明公开一种压力传感器测试装置，测试时测试容器里的压力传感器通过金属插针和测试容器外界的电路连接，既保证了气密性，也保证了信号传输的物理稳定性，使得测试数据精确和稳定，为产品的改进提供更精确的一线数据。本发明还公开了一种压力传感器测试方法。

公开(公告)号：CN104793016A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410027346.0

申请日：2014-01-21

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 徐伯强 ,  顾坚俭 ,  夏长奉

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明提供一种用于校准加速度传感器轴向的夹具、校准设备和校准方法，所述夹具包括：主体，其外表面包括相互垂直的三个承载面，所述主体内设置有容纳空间；以及多个固定装置，其设置在所述容纳空间内，用于将多个加速度传感器分别固定至所述主体，其中所述多个加速度传感器中的每个的X轴、Y轴和Z轴都能够分别与所述三个承载面垂直。本发明提供的该夹具一方面能够完成对多个加速度传感器的同时检测，另一方面，该夹具能够实现当完成对安装在其上的加速度传感器的一个轴向校准之后，不需要将加速度传感器拆卸，而只需要将夹具翻转，再按照新轴向固定即可，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。

公开(公告)号：CN104422561A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201310379615.5

申请日：2013-08-27

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 顾坚俭 ,  徐伯强

IPC: G01L27/00

Abstract: 本发明提供一种用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法。该检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个通孔相对应，多个固定装置构造为能够在承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个通孔处，且通孔构造为能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置具有进气口和出气口，承载装置密封连接至出气口，且承载装置的与第一表面相对的第二表面面向压力输送装置，使得压力传感器的受压面面向压力输送装置。该检测设备可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。