公开(公告)号：CN114497280A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210083968.X

申请日：2022-01-25

Applicant: 无锡商业职业技术学院

Inventor： 周小红 ,  周小芳 ,  余乐平 ,  路露 ,  徐律

IPC: H01L31/18 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法，属于光电探测器件制造技术领域。该激光探测器包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15°。本发明可以有效地避免紫外强激光对化学键的选择破坏而造成的优先溅射问题。其制备方法可生长得到致密且结晶度良好的氧化钛薄膜，制备的激光探测器具有探测波段宽，响应速度快，灵敏度高的优点，并且能抗紫外强激光辐照。

公开(公告)号：CN114554654A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202210141585.3

申请日：2022-02-16

Applicant: 无锡商业职业技术学院

Inventor： 周小红 ,  余乐平 ,  路露 ,  徐律 ,  周小芳

IPC: H05B47/105 ,  H05B47/165

Abstract: 本发明提供一种基于氧化物薄膜光电效应的紫外线强度控制器，包括：紫外感光芯片，包括电性连接的氧化物薄膜和电信号增益运算电路；A/D模块，接收电信号增益运算电路的模拟电信号，并转换为数字信号输出至单片机；单片机，接收A/D模块传输的数字信号后，与预设的参考值进行比较，并发出控制指令给控制模块；控制模块，接收单片机的控制指令后调节紫外光源的电压及温度；还包括电源模块，所述电源模块与所述增益运算电路和单片机连接，为增益运算电路和单片机提供电源。本发明利用氧化物薄膜作为感光元件，在紫外光照射下，由于塞贝克效应感生电压，响应时间在纳秒级，能快速响应紫外光强度，具有响应快、灵敏度高的特点。