背面研磨带
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110819249B

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN201910725933.X

    申请日:2019-08-07

    Abstract: 本发明提供在切割之后进行的背面研磨工序中使用的背面研磨带,其是防止背面研磨时会产生的芯片缺损的背面研磨带。本发明的背面研磨带依次具备粘合剂层、中间层和第1基材,构成该中间层的材料为具有羧基且未交联的丙烯酸类树脂,将该粘合剂层粘贴在Si镜面晶圆上时的初始粘合力为1N/20mm~30N/20mm。

    半导体保护用粘合带
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110272690A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910185544.2

    申请日:2019-03-12

    Abstract: 本发明提供一种半导体保护用粘合带,其能够良好地填埋凹凸面,且溶剂含量少。本发明的半导体保护用粘合带具备:基材、配置在该基材的至少一侧的粘合剂层、以及配置在该基材与该粘合剂层之间的中间层,该粘合剂层由包含(甲基)丙烯酸类聚合物的活性能量射线固化型粘合剂构成,该粘合剂层的厚度为1μm~50μm,该中间层由UV聚合(甲基)丙烯酸类聚合物构成,该中间层的厚度为50μm~1000μm。

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