公开(公告)号：JP6578489B2

公开(公告)日：2019-09-25

申请号：JP2016538266

申请日：2015-07-16

Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 加藤 健治 ,  高橋 正人 ,  西村 和也 ,  石塚 浩 ,  森口 秀樹

IPC: C23C14/24 ,  C01B32/05 ,  C23C14/06

公开(公告)号：JP2015063721A

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：JP2013197243

申请日：2013-09-24

Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 高橋 正人 ,  加藤 健治 ,  岡崎 尚登

IPC: C23C14/24

Abstract: 【課題】大口径の陰極を用いた場合でも、陰極表面において陰極材料を均一に消耗させて陰極の利用効率を向上させることができ、コーティングコストの低減を図ることができる真空アーク蒸着技術を提供する。 【解決手段】アーク放電によって陰極材料を蒸発させることにより、基材上に成膜を行う真空アーク蒸着法であって、陰極に電流を導入するための電流導入端子を複数箇所に配置して、陰極材料に放電電流を流すことによりアーク放電を行って、基材上に蒸着膜を形成する真空アーク蒸着法。アーク放電によって陰極材料を蒸発させることにより、基材上に成膜を行う真空アーク蒸着装置であって、陰極に電流を導入するための電流導入端子が複数箇所に配置されており、陰極材料に放電電流を流すことによりアーク放電を行って、基材上に蒸着膜を形成するように構成されている真空アーク蒸着装置。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种真空电弧气相沉积技术，即使在使用中的阴极具有大直径，从而降低涂层成本，也可以通过均匀地消耗阴极表面的阴极材料来提高阴极的使用效率。解决方案： 在通过电弧放电使阴极材料蒸发而在基材上形成膜的真空电弧气相沉积法中，分别在多个位置设置用于将电流引入阴极的电流引入端子，并且产生电弧放电 通过向阴极材料提供放电电流，以在基材上形成气相沉积膜。 通过电弧放电使阴极材料蒸发以在基材上形成膜的真空电弧蒸镀装置具有用于将电流导入配置在多个位置的阴极的电流引入端子，并产生电弧放电 通过向阴极材料供给放电电流，以在基材上形成蒸镀膜。