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公开(公告)号:JP6604557B2
公开(公告)日:2019-11-13
申请号:JP2017534064
申请日:2015-08-10
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社 , 本田技研工業株式会社
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公开(公告)号:JP2019157156A
公开(公告)日:2019-09-19
申请号:JP2018041398
申请日:2018-03-08
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
Abstract: 【課題】耐破壊性、耐剥離性に優れ、摺動時、大きな接触応力が繰り返し発生する用途に用いた場合でも、優れた密着性を発揮することができ、十分な耐久性を有する被膜とその形成方法を提供する。 【解決手段】基材上に被覆される複合被膜であって、下層に水素含有量が5at%未満、膜厚が200〜1000nmの硬質炭素膜Aが形成され、上層に水素含有量が5〜30at%、膜厚が210〜5000nm、ヤング率が200GPaより大きい硬質炭素膜Bが形成されており、硬質炭素膜Aと硬質炭素膜Bとが、直接、積層されている複合被膜。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2018172706A
公开(公告)日:2018-11-08
申请号:JP2017069909
申请日:2017-03-31
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
Abstract: 【課題】低摩擦性と耐摩耗性の両立を十分に改善させるだけでなく、耐焼き付き性についてもさらなる改善が図られた被覆膜を提供する。 【解決手段】基材の表面に被覆される被覆膜であって、断面を明視野TEM像により観察したとき、少なくとも2つの層からなる硬質炭素層が形成されており、最上層の硬質炭素層は、直下に形成されている硬質炭素層よりも色調が白い硬質炭素層である被覆膜。基材の表面に被覆される被覆膜であって、断面を明視野TEM像により観察したとき、少なくとも3つの層からなる硬質炭素層が形成されており、最上層の硬質炭素層と最下層の硬質炭素層とは、中間に形成されている硬質炭素層よりも色調が白い硬質炭素層である被覆膜。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2018154873A
公开(公告)日:2018-10-04
申请号:JP2017052753
申请日:2017-03-17
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
Abstract: 【課題】CrN層の上に硬質炭素層を被覆させる際、同じ成膜装置内で一連の連続した工程で行うことができ、しかも、従来よりもCrN層に対する硬質炭素層の密着性を確保して、CrN層の有する耐摩耗性及び耐剥離性に加えて、硬質炭素層の有する低摩擦性を発揮させて、優れた摺動特性を安定的に確保することができる成膜技術を提供する。 【解決手段】基材の上にCrN層が下地層として形成され、CrN層の上に硬質炭素層が積層された積層被覆膜であって、CrN層が、(111)面の(200)面に対するX線回折の強度比(111)/(200)が0.50〜3.0で、柱状結晶構造を有すると共に、ANSI B46.1に規定される最大高さRzで0.5〜2.5μmの表面粗さ、または、JIS B 0671−2に規定される負荷長さ率Mr1で16〜35%の表面を有している積層被覆膜。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2018031058A
公开(公告)日:2018-03-01
申请号:JP2016163957
申请日:2016-08-24
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
Abstract: 【課題】アーク放電中に陰極から放出された粉砕粒子が成膜中のDLC膜に取り込まれることを抑制することにより、平滑なDLC膜を安定して成膜できるアーク式成膜技術を提供する。 【解決手段】棒状の陰極を保持する陰極保持手段と、基材を保持する基材保持手段と、陰極保持手段および基材保持手段が収容された真空チャンバーと、陰極と陽極との間に接続されたアーク電源と、棒状の陰極の外周面にアークスポットを生じさせる放電開始手段と、陰極の周囲に環状に配置されて磁力線が陰極の軸方向に沿った磁場を発生させる磁場発生手段とを備えており、陰極の外周面にアークスポットを生じさせて陰極の外周面のカーボンを昇華させることにより基材表面に炭素膜を成膜するように構成されており、陰極の外周面のカーボンを昇華させる際、アークスポットが陰極の根元に近付くにつれてアーク放電の距離が長くなるように構成されているアーク式成膜装置。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6155490B2
公开(公告)日:2017-07-05
申请号:JP2015553311
申请日:2013-12-20
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
CPC classification number: C23C16/54 , C23C14/566 , H01L21/6719
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公开(公告)号:JPWO2016017438A1
公开(公告)日:2017-06-08
申请号:JP2016538266
申请日:2015-07-16
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
IPC: C23C14/06 , C01B32/15 , C01B32/18 , C01B32/182 , C23C14/24
Abstract: 陰極物質が割れるのを抑制可能なプラズマ装置を提供する。プラズマ装置10は、真空容器1と、アーク式蒸発源3と、陰極部材4と、永久磁石5と、電源7と、トリガー電極8と、シャッター12とを備える。アーク式蒸発源3は、真空容器1の側壁に基板20に対向して固定される。陰極部材4は、突起部を有するガラス状炭素からなり、アーク式蒸発源3に取り付けられる。突起部は、0.785mm2よりも大きい断面積を有する。永久磁石5は、陰極部材4に磁界を印加する。電源7は、アーク式蒸発源3に負の電圧を印加する。トリガー電極8は、陰極部材4の突起部に接触または離反する。アーク式蒸発源3に負の電圧を印加し、トリガー電極8を陰極部材4の突起部に接触させてアーク放電を発生させ、シャッター12を開けてカーボン薄膜を基板20上に形成する。
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公开(公告)号:JP2017101279A
公开(公告)日:2017-06-08
申请号:JP2015234800
申请日:2015-12-01
Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
Abstract: 【課題】アーク式成膜装置を用いてDLC膜を成膜するに際して、アーク放電中に陰極から粉砕粒子が放出されることを抑制することにより、平滑なDLC膜を安定して成膜することができるアーク式成膜技術を提供する。 【解決手段】カーボンを主成分とする陰極材料を用いてアーク放電を行うことにより、陰極表面に形成されたアークスポット31からカーボンを昇華させて、基材表面にカーボンを主成分とする炭素膜を成膜するアーク式成膜装置であって、陰極4を保持する陰極保持手段と、基材を保持する基材保持手段と、陰極保持手段および基材保持手段が収容された真空チャンバーとを備えており、成膜中、少なくとも陰極4のアークスポット近傍の領域の温度を500〜3000℃にする手段を備えているアーク式成膜装置。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2011084721A
公开(公告)日:2011-04-28
申请号:JP2010126367
申请日:2010-06-01
Applicant: Idemitsu Kosan Co Ltd , Nippon Itf Kk , 出光興産株式会社 , 日本アイ・ティ・エフ株式会社
Inventor: KASAI TOKEI , YAMADA AKIRA , TSUJIOKA MASANORI , MIYAKE KOJI
IPC: C10M137/04 , C10M135/20 , C10M137/06 , C10N10/04 , C10N30/06 , C10N40/02 , C10N40/25
CPC classification number: C10M141/10 , C10M2201/041 , C10M2201/06 , C10M2203/1006 , C10M2207/026 , C10M2207/262 , C10M2209/084 , C10M2215/064 , C10M2215/223 , C10M2215/28 , C10M2219/044 , C10M2219/046 , C10M2219/082 , C10M2223/042 , C10M2223/045 , C10N2230/06 , C10N2240/10 , C10N2250/14 , C10N2250/141 , C10N2280/00 , Y10T428/265 , Y10T428/30 , C10N2210/02
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sliding mechanism with excellent low friction by combining sliding members having a particular DLC (Diamond-Like Carbon) coating on the sliding surface by means of a lubricant oil composition exhibiting excellent low friction while maintaining various properties of the lubricant oil. SOLUTION: The sliding mechanism includes two mutually sliding members with a lubricant oil interposed between their sliding surfaces; wherein the lubricant oil is composed of a lubricant oil composition obtained by compounding an additive selected from a phosphorus-zinc-containing compound having a particular structure and a sulfur-containing compound having a particular structure; wherein at least one of the two sliding members has a DLC coating film formed on its sliding surface; wherein the DLC coating film contains 1-30 atom% of tungsten (W) or molybdenum (Mo). COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题:为了通过将表现出优异的低摩擦力的润滑油组合物结合在滑动表面上的具有特定DLC(类金刚石碳)的滑动构件来提供具有优异的低摩擦力的滑动机构,同时保持各种 润滑油的性能。 解决方案:滑动机构包括两个相互滑动的构件,其中润滑油介于其滑动表面之间; 其中所述润滑油由通过配合选自具有特定结构的含磷锌化合物和具有特定结构的含硫化合物的添加剂获得的润滑油组合物组成; 其中所述两个滑动构件中的至少一个具有形成在其滑动表面上的DLC涂层膜; 其中DLC涂膜含有1-30原子%的钨(W)或钼(Mo)。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT
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