公开(公告)号：JP3718664B2

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：JP2002169126

申请日：2002-06-10

Applicant: 住友電気工業株式会社 ,  日新電機株式会社 ,  日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 美紀 入江 ,  慶春 内海 ,  久典 大原 ,  聡 大谷 ,  尚登 岡崎 ,  秀樹 森口 ,  明彦 池ヶ谷 ,  圭一 津田 ,  誠 瀬戸山 ,  治世 福井 ,  潔 緒方

IPC: B23C5/16 ,  B23B27/14 ,  B23B27/20 ,  B23B51/00 ,  C23C14/06

公开(公告)号：JPWO2015092928A1

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：JP2015553311

申请日：2013-12-20

Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 尚登 岡崎 ,  尚登 岡崎 ,  健 吉原 ,  健 吉原 ,  知保 松野 ,  知保 松野 ,  義浩 田野 ,  義浩 田野 ,  圭吾 高杉 ,  圭吾 高杉 ,  諭 福田 ,  諭 福田

IPC: C23C14/50 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/54 ,  C23C14/566 ,  H01L21/6719

Abstract: 敷地面積の確保や作業現場の設計変更、あるいは設備の複雑化に伴う設備コストの上昇を招くことがなく、設置された室内へのダストの拡散を適切に抑制して、高い生産性で成膜処理することができる成膜装置を提供する。真空チャンバー内に収容した基材の表面に成膜処理を行う成膜装置であって、真空チャンバーに、成膜処理前の基材を真空チャンバーに搬入する搬入用の扉と、成膜処理後の基材を真空チャンバーから搬出する搬出用の扉とが設けられ、搬入用の扉は互いに区切られた2つの空間の一方の空間に配置されており、搬出用の扉は他方の空間に配置されている成膜装置。搬出用の扉の外側に、搬出用の扉の周囲を仕切りによって取り囲むことにより形成されたブースが設けられている成膜装置。

公开(公告)号：JP3719708B2

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：JP2002169107

申请日：2002-06-10

Applicant: 住友電気工業株式会社 ,  日新電機株式会社 ,  日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 暁 久木野 ,  美紀 入江 ,  慶春 内海 ,  久典 大原 ,  聡 大谷 ,  尚登 岡崎 ,  秀樹 森口 ,  誠 瀬戸山 ,  治世 福井 ,  潔 緒方

IPC: B23C5/16 ,  B23B27/14 ,  B23B27/20 ,  B23B51/00 ,  C23C14/06

公开(公告)号：JP3719709B2

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：JP2002169117

申请日：2002-06-10

Applicant: 住友電気工業株式会社 ,  日新電機株式会社 ,  日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 美紀 入江 ,  慶春 内海 ,  久典 大原 ,  聡 大谷 ,  尚登 岡崎 ,  秀樹 森口 ,  誠 瀬戸山 ,  治世 福井 ,  潔 緒方

IPC: B23C5/16 ,  B23B27/14 ,  B23B27/20 ,  B23B51/00 ,  C23C14/06

公开(公告)号：JPWO2014178100A1

公开(公告)日：2017-02-23

申请号：JP2015514703

申请日：2013-04-30

Applicant: 日本アイ・ティ・エフ株式会社

Inventor： 尚登 岡崎 ,  健 吉原 ,  浩 石塚 ,  知保 松野 ,  真司 楢原

IPC: C23C14/32

CPC classification number: H01J37/32055 ,  C23C14/325 ,  H01J37/32614 ,  H01J37/3266 ,  H01J37/32669 ,  H01J2237/327 ,  H01J2237/332

Abstract: 真空中で、アーク放電によってカソード材料を溶解、蒸発させて、基材表面に成膜させるアーク蒸発源であって、略円板形状に形成されたカソードと、カソードの背面側に配置された磁界発生手段とを備え、磁界発生手段が、カソードの背面にカソードの放電面に対して20°〜50°の方向に磁極が向けられて配置された少なくとも一つの永久磁石により、カソードの外周面においては基材方向に対して鋭角な磁力線、カソードの放電面の最外周部においては放電面に対してほぼ垂直な磁力線、カソードの放電面の外周面寄りの部分においてはカソードの中心方向に対して鋭角な磁力線が形成される磁界を発生させるように構成して、カソードを、外周部一杯まで利用可能とし、カソード材料の利用効率を飛躍的に高めることができるアーク蒸発源を提供する。

Abstract translation: 在真空下，溶解通过电弧放电的阴极材料，并蒸发，电弧蒸发源，用于在基材表面，其被设置在形成为大致圆盘形状的阴极的磁场，后侧的阴极上沉积 以及生成单元，所述磁场产生装置，所述至少一个永磁体的阴极布置20°〜50°的方向被定向的磁极对放电面的阴极到后面，阴极的外周面 急性磁场线相对于基板方向，放电表面的阴极基本上垂直磁场线到放电表面处的最外周部，相对于在上述外周面的中心方向上的阴极附近的放电表面的阴极部 配置成产生磁场，形成有锋利的磁力线，阴极，和可用到周边部分充满电弧蒸发，从而可以提高阴极材料的利用效率显着地 为了提供。