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发明公开
带电粒子束装置和相机图像显示方法审中-公开

公开(公告)号：CN119340182A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202410967064.2

申请日：2024-07-18

Applicant: 日本电子株式会社

Inventor： 阿部圣 , 服部拓 , 宫原丈知

IPC: H01J37/28 , H01J37/20

Abstract: 一种带电粒子束装置和相机图像显示方法，在试样单元(30)的上升过程中，显示带有高度指引的相机图像。显示倍率控制器(52)在试样单元(30)的代表高度到达倍率变更高度的时间点使相机图像的显示倍率增大。突出量运算器(55)基于接受了登记操作的时间点的试样保持器(31)的高度，运算试样(32)从试样保持器(31)的突出量。

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