公开(公告)号：CN119340182A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202410967064.2

申请日：2024-07-18

Applicant: 日本电子株式会社

Inventor： 阿部圣 ,  服部拓 ,  宫原丈知

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

Abstract: 一种带电粒子束装置和相机图像显示方法，在试样单元(30)的上升过程中，显示带有高度指引的相机图像。显示倍率控制器(52)在试样单元(30)的代表高度到达倍率变更高度的时间点使相机图像的显示倍率增大。突出量运算器(55)基于接受了登记操作的时间点的试样保持器(31)的高度，运算试样(32)从试样保持器(31)的突出量。

公开(公告)号：CN114088758A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202110817170.9

申请日：2021-07-20

Applicant: 日本电子株式会社

Inventor： 渡壁一贵 ,  桑原博文 ,  宫原丈知 ,  坂田隆英 ,  F·蒂米什尔

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/2251

Abstract: 一种带电粒子束装置和设定辅助方法，基于照射条件和试样的元素信息，生成参照像(82、202)。参照像(82、202)包含示出特征X射线产生范围的图形(112)、示出特征X射线产生深度的数值(114)等。伴随着加速电压、倾角或构成试样的元素的变更，参照像(82、202)发生变化。参照像(82、202)可包含示出入射电子散射范围的图形(204)、示出反射电子产生范围的图形(108)等。