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发明公开
带电粒子束装置和设定辅助方法审中-实审

公开(公告)号：CN114088758A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202110817170.9

申请日：2021-07-20

Applicant: 日本电子株式会社

Inventor： 渡壁一贵 , 桑原博文 , 宫原丈知 , 坂田隆英 , F·蒂米什尔

IPC: G01N23/225 , G01N23/2251

Abstract: 一种带电粒子束装置和设定辅助方法，基于照射条件和试样的元素信息，生成参照像(82、202)。参照像(82、202)包含示出特征X射线产生范围的图形(112)、示出特征X射线产生深度的数值(114)等。伴随着加速电压、倾角或构成试样的元素的变更，参照像(82、202)发生变化。参照像(82、202)可包含示出入射电子散射范围的图形(204)、示出反射电子产生范围的图形(108)等。

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