公开(公告)号：CN1174988A

公开(公告)日：1998-03-04

申请号：CN97113558.4

申请日：1997-05-22

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 滑川政彦 ,  柴田和义 ,  武内幸久 ,  中尾成希

IPC: G01L1/16 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01N29/222 ,  G01L9/0008 ,  G01M3/16 ,  G01N9/002 ,  G01N11/16 ,  G01N29/036 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/015 ,  G01N2291/02818

Abstract: 流控传感器包括带振动部分7的基体2,固定在振动部分表面且有一个压电片4和至少一对与压电片接触的电极5a,5b的压电元件3,设在基体表面且与电极对电连接的电极端子6,设在电极端子边缘中基体表面上的涂层材料8,加压器平台14a,14b,和保持在基体和加压器平台间并围绕电极端子的密封部件12,其中,电极端子通过在涂层材料和加压器平台间固定密封部件而保持对待测流体而言是气密的和/或液密的。