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公开(公告)号:CN1659718A
公开(公告)日:2005-08-24
申请号:CN03813535.3
申请日:2003-06-10
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/24
CPC classification number: H01L41/43 , H01L41/083 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H01L41/27 , H01L41/338 , Y10T29/42 , Y10T29/435
Abstract: 一种压电/电致伸缩装置(10)包括一固定部(11),被该固定部支撑的薄板部(12)和一由多个电极和多个压电/电致伸缩层交替构成的压电/电致伸缩元件(14)。该压电/电致伸缩装置(10)通过首先在构成所述薄板部(12)的薄板上形成包括片状电极和压电/电致伸缩层的压电/电致伸缩层多层体,然后切割薄板和压电/电致伸缩层多层体而制成。该切割通过沿压电/电致伸缩多层体的层叠方向往复移动线状部件(线锯)且与层叠方向平行。因此,片状电极被切割,且同时在电极层平面内被延伸,从而覆盖压电/电致伸缩层的端面的区域减少。
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公开(公告)号:CN1839487A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200480023896.X
申请日:2004-08-23
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01L41/43 , H01L41/083 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H01L41/273
Abstract: 压电/电致伸缩装置10包含固定部11;固定部支撑的薄板部12;由交替层叠在一起的多个电极和多个压电/电致伸缩层组成的压电/电致伸缩元件14。压电/电致伸缩装置10的制造过程如下:首先,在成为薄板部12的薄板体表面形成压电/电致伸缩层叠片,该层叠片由层叠的电极和压电/电致伸缩层组成;接着,切割该薄板体和压电/电致伸缩层叠片;对切割形成的切割面(侧端面)进行抛光处理,从而使其表面粗糙度的算术平均值为0.05μm或更小。该抛光过程可在侧端面附近得到均匀残留应力,同时消除上述切割时在侧端面附近产生的微裂纹,从而有效避免侧端面的粒子分离。
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公开(公告)号:CN1174988A
公开(公告)日:1998-03-04
申请号:CN97113558.4
申请日:1997-05-22
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: G01N29/222 , G01L9/0008 , G01M3/16 , G01N9/002 , G01N11/16 , G01N29/036 , G01N2291/014 , G01N2291/015 , G01N2291/02818
Abstract: 流控传感器包括带振动部分7的基体2,固定在振动部分表面且有一个压电片4和至少一对与压电片接触的电极5a,5b的压电元件3,设在基体表面且与电极对电连接的电极端子6,设在电极端子边缘中基体表面上的涂层材料8,加压器平台14a,14b,和保持在基体和加压器平台间并围绕电极端子的密封部件12,其中,电极端子通过在涂层材料和加压器平台间固定密封部件而保持对待测流体而言是气密的和/或液密的。
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公开(公告)号:CN1173642A
公开(公告)日:1998-02-18
申请号:CN97114923.2
申请日:1997-05-22
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N35/00
CPC classification number: G01L9/008 , G01N29/036 , G01N29/222 , G01N2291/014 , G01N2291/015
Abstract: 传感器装置10,包括带振动部分14的主体12、固定在振动部分一表面上并有压电膜22和一对与压电膜接触的电极24A和24B的压电元件20、使流体可通向振动部分另一表面的间隙16、和与该间隙连通的引入孔18。传感器装置呈长型,由设在该装置表面上、以便基本连续地由引入孔周边延伸到该装置后端部分10’的隆起部分13形成一个在其范围内包含了至少一个处在装置表面侧上的引入孔开口端并延伸至该装置后端部分的凹槽15。
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公开(公告)号:CN101353259A
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200810134061.1
申请日:2008-07-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/634
CPC classification number: H05K3/101 , C04B35/4682 , C04B35/632 , C04B35/6342 , C04B35/63424 , C04B35/63456 , C04B37/008 , C04B2235/36 , C04B2235/6023 , C04B2237/346 , H05K1/0306 , H05K1/092 , H05K1/095 , H05K3/0014 , H05K3/207 , H05K3/4611 , H05K3/4629 , H05K2201/0209 , H05K2201/09118
Abstract: 本发明涉及陶瓷成型体、陶瓷部件、陶瓷成型体的制造方法以及陶瓷部件的制造方法。本发明的陶瓷成型体(10B)具有导体成型体(12),通过以披覆导体成型体(12)的方式涂布混合了热固性树脂前体和陶瓷粉末以及溶剂的浆料(18)之后,进行固化来得到该陶瓷成型体。陶瓷成型体(10B)所含有的热固性树脂,通过使具有异氰酸酯基或异硫氰酸酯基的胶凝剂与具有羟基的高分子进行反应固化来得到。具有羟基的高分子优选为丁醛树脂、或乙基纤维素系树脂、或聚乙二醇系树脂或聚醚系树脂。
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公开(公告)号:CN1784792A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200480012072.2
申请日:2004-06-04
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01L41/0831 , H01L41/0946
Abstract: 对于每一个压电/电致伸缩元件(18a和18b),电极层(24和26)的端部(24a和26a)从位于压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出。突出的距离(t)小于或等于电极层(24和26)之间的压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。期望突出的距离(t)在0.5μm和 2μm之间。
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公开(公告)号:CN1143184A
公开(公告)日:1997-02-19
申请号:CN95115106.1
申请日:1995-08-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 检测流体中的固体颗粒的传感器部件包括:检测单元,包括基本由第一陶瓷材料构成的压电膜,涂覆在压电膜的外表面的至少一部分上的第一电极,和涂覆在压电膜的内表面的至少一部分上的第二电极,基本由第二陶瓷材料构成的振动部分,检测单元位于振动部分上,因此第二电极涂覆在振动部分的至少一部分上,以及用于固定振动部分的固定部分,因此振动部分能够振动。检测单元和振动部分中的至少一个与固体颗粒接触,因此压电膜将振动转变成电信号。
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公开(公告)号:CN101353259B
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN200810134061.1
申请日:2008-07-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/634
CPC classification number: H05K3/101 , C04B35/4682 , C04B35/632 , C04B35/6342 , C04B35/63424 , C04B35/63456 , C04B37/008 , C04B2235/36 , C04B2235/6023 , C04B2237/346 , H05K1/0306 , H05K1/092 , H05K1/095 , H05K3/0014 , H05K3/207 , H05K3/4611 , H05K3/4629 , H05K2201/0209 , H05K2201/09118
Abstract: 本发明涉及陶瓷成型体、陶瓷部件、陶瓷成型体的制造方法以及陶瓷部件的制造方法。本发明的陶瓷成型体(10B)具有导体成型体(12),通过以披覆导体成型体(12)的方式涂布混合了热固性树脂前体和陶瓷粉末以及溶剂的浆料(18)之后,进行固化来得到该陶瓷成型体。陶瓷成型体(10B)所含有的热固性树脂,通过使具有异氰酸酯基或异硫氰酸酯基的胶凝剂与具有羟基的高分子进行反应固化来得到。具有羟基的高分子优选为丁醛树脂、或乙基纤维素系树脂、或聚乙二醇系树脂或聚醚系树脂。
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公开(公告)号:CN1586018A
公开(公告)日:2005-02-23
申请号:CN02822353.5
申请日:2002-09-11
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01L41/43 , H01L41/094 , H01L41/314 , H01L41/338 , Y10T29/42 , Y10T29/43 , Y10T29/49005 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128
Abstract: 一种压电/电致伸缩器件(10)的制造方法,该压电/电致伸缩器件(10)包括相对的一对薄板部(12a,12b);支承这些薄板部(12a,12b)的固定部(14);活动部(22a,22b),该活动部(22a,22b)位于上述一对薄板部(12a,12b)的前端部分,该制造方法包括下述步骤:对在之后构成上述薄板部(12a,12b)的第1陶瓷坯片(60A,60B)的一个主面,进行至少1次的厚膜形成处理,形成在之后形成活动部(22a,22b)的突起部(72);将上述第1陶瓷坯片(60A,60B)与在之后构成上述固定部(14)的第2陶瓷坯片(64)叠置,形成陶瓷叠置坯体(50);对上述陶瓷叠置坯体(50)进行烘焙,使其形成一体,形成陶瓷叠层体(52);在上述陶瓷叠层体(52)上,形成压电/电致伸缩元件(18a,18b),对其进行烘焙,然后,切除不需要的部分,制作压电/电致伸缩器件(10)。
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