压电/电致伸缩装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1839487A

    公开(公告)日:2006-09-27

    申请号:CN200480023896.X

    申请日:2004-08-23

    Abstract: 压电/电致伸缩装置10包含固定部11;固定部支撑的薄板部12;由交替层叠在一起的多个电极和多个压电/电致伸缩层组成的压电/电致伸缩元件14。压电/电致伸缩装置10的制造过程如下:首先,在成为薄板部12的薄板体表面形成压电/电致伸缩层叠片,该层叠片由层叠的电极和压电/电致伸缩层组成;接着,切割该薄板体和压电/电致伸缩层叠片;对切割形成的切割面(侧端面)进行抛光处理,从而使其表面粗糙度的算术平均值为0.05μm或更小。该抛光过程可在侧端面附近得到均匀残留应力,同时消除上述切割时在侧端面附近产生的微裂纹,从而有效避免侧端面的粒子分离。

    传感器装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1173642A

    公开(公告)日:1998-02-18

    申请号:CN97114923.2

    申请日:1997-05-22

    Abstract: 传感器装置10,包括带振动部分14的主体12、固定在振动部分一表面上并有压电膜22和一对与压电膜接触的电极24A和24B的压电元件20、使流体可通向振动部分另一表面的间隙16、和与该间隙连通的引入孔18。传感器装置呈长型,由设在该装置表面上、以便基本连续地由引入孔周边延伸到该装置后端部分10’的隆起部分13形成一个在其范围内包含了至少一个处在装置表面侧上的引入孔开口端并延伸至该装置后端部分的凹槽15。

    压电/电致伸缩元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1784792A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200480012072.2

    申请日:2004-06-04

    CPC classification number: H01L41/0831 H01L41/0946

    Abstract: 对于每一个压电/电致伸缩元件(18a和18b),电极层(24和26)的端部(24a和26a)从位于压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出。突出的距离(t)小于或等于电极层(24和26)之间的压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。期望突出的距离(t)在0.5μm和 2μm之间。

    传感器部件和颗粒传感器

    公开(公告)号:CN1143184A

    公开(公告)日:1997-02-19

    申请号:CN95115106.1

    申请日:1995-08-14

    Abstract: 检测流体中的固体颗粒的传感器部件包括:检测单元,包括基本由第一陶瓷材料构成的压电膜,涂覆在压电膜的外表面的至少一部分上的第一电极,和涂覆在压电膜的内表面的至少一部分上的第二电极,基本由第二陶瓷材料构成的振动部分,检测单元位于振动部分上,因此第二电极涂覆在振动部分的至少一部分上,以及用于固定振动部分的固定部分,因此振动部分能够振动。检测单元和振动部分中的至少一个与固体颗粒接触,因此压电膜将振动转变成电信号。

    压电/电致伸缩器件的制作方法

    公开(公告)号:CN1586018A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN02822353.5

    申请日:2002-09-11

    Abstract: 一种压电/电致伸缩器件(10)的制造方法,该压电/电致伸缩器件(10)包括相对的一对薄板部(12a,12b);支承这些薄板部(12a,12b)的固定部(14);活动部(22a,22b),该活动部(22a,22b)位于上述一对薄板部(12a,12b)的前端部分,该制造方法包括下述步骤:对在之后构成上述薄板部(12a,12b)的第1陶瓷坯片(60A,60B)的一个主面,进行至少1次的厚膜形成处理,形成在之后形成活动部(22a,22b)的突起部(72);将上述第1陶瓷坯片(60A,60B)与在之后构成上述固定部(14)的第2陶瓷坯片(64)叠置,形成陶瓷叠置坯体(50);对上述陶瓷叠置坯体(50)进行烘焙,使其形成一体,形成陶瓷叠层体(52);在上述陶瓷叠层体(52)上,形成压电/电致伸缩元件(18a,18b),对其进行烘焙,然后,切除不需要的部分,制作压电/电致伸缩器件(10)。

    显示元件和显示设备
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1183603A

    公开(公告)日:1998-06-03

    申请号:CN95115105.3

    申请日:1995-08-14

    Abstract: 显示元件及包括许多显示元件的显示设备。它们具有反应快,功耗小,尺寸小,屏幕亮度高,彩色显示时也无需增加象素数等特点。该元件包括有一对表面和涂敷其上至少一部分的电极对的压电膜的致动器;与电极对之一接触以支承致动器的可动弯曲部分;固定弯曲部分使其能动的固定部分,连到致动器用以传递致动器位移的装置,以及置于位移-传递装置附近的透光板。

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