压电/电致伸缩元件的制造方法

    公开(公告)号:CN101213680A

    公开(公告)日:2008-07-02

    申请号:CN200680023734.5

    申请日:2006-06-29

    Abstract: 本发明是具有对压电/电致伸缩膜进行加热处理,其后进行放置,并在压电/电致伸缩膜的加热处理后的电常数的值收敛之后,对压电/电致伸缩膜进行极化处理的工序的压电/电致伸缩元件的制造方法。用这种方法制造出的压电/电致伸缩元件,残留在压电/电致伸缩膜中的应力小,不会损坏作为压电/电致伸缩元件(压电/电致伸缩膜)的规定能力、例如位移量、位移发生力、功率利用系数(消耗电力)。

    压电/电致伸缩元件的制造方法

    公开(公告)号:CN100555697C

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200680023734.5

    申请日:2006-06-29

    Abstract: 本发明是具有对压电/电致伸缩膜进行加热处理,其后进行放置,并在压电/电致伸缩膜的加热处理后的电常数的值收敛之后,对压电/电致伸缩膜进行极化处理的工序的压电/电致伸缩元件的制造方法。用这种方法制造出的压电/电致伸缩元件,残留在压电/电致伸缩膜中的应力小,不会损坏作为压电/电致伸缩元件(压电/电致伸缩膜)的规定能力、例如位移量、位移发生力、功率利用系数(消耗电力)。

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