公开(公告)号：CN102200217A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110068974.X

申请日：2011-03-22

Applicant: 普莱克斯技术有限公司

Inventor： J.C.格蒙 ,  K.L.伯格斯 ,  C.萨里伊安尼季斯 ,  M.D.麦凯恩 ,  K.R.佩斯 ,  H.朱 ,  H.E.法拉

IPC: F17C7/04

CPC classification number: F17C9/02 ,  F17C2201/054 ,  F17C2201/056 ,  F17C2203/0643 ,  F17C2203/0648 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0115 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/038 ,  F17C2227/0302 ,  F17C2227/0381 ,  F17C2227/0386 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0443 ,  F17C2250/0626 ,  F17C2250/0631 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2250/0694 ,  F17C2260/023 ,  F17C2265/012 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321

Abstract: 本发明公开了用于气体供给和使用的系统和方法。本发明涉及气体蒸发和供给系统，其包括（a）适于盛装大量的液化气体的容器；（b）布置在容器上或容器附近的至少一个热源，以向液化气体供给能量或从液化气体移除能量；以及（c）热源控制器，其适于使用工艺变量反馈用于动态调节所述热源并且保持和调节气体输出。所述工艺变量反馈源自至少两个工艺变量的级联顺序控制。工艺变量包括压力、温度和/或气体输出流率。本发明还涉及一种用于以受控的方式将液化状态的气体（例如，超高纯度气体）输送至使用现场（例如，半导体制造设备）的方法。本发明提供对于用户要求的变化的较快加热系统响应、较长的加热器寿命、以及改进的可靠性。