公开(公告)号：CN104348326B

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201410346693.X

申请日：2014-07-21

Applicant: 智动全球股份有限公司

Inventor： 林素贞 ,  吴名清

IPC: H02K33/02 ,  B81B7/00

CPC classification number: G02B7/08 ,  B81B3/00 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/04 ,  B81B2201/042 ,  G02B7/18 ,  G02B7/182 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  H02K33/18 ,  H02K35/00 ,  H02K41/02

Abstract: 本发明提供一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，包括框架部、可动承载部，及二组弹簧结构分别设于可动承载部直线移动方向的二侧用以连接可动承载部于框架部内；透过可动承载部上的导电线圈回路及组弹簧结构设计，通过线圈回路导入电流后与外界的铁磁性材料相互作用而产生的作用力使可动承载部直线移动。该可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。

公开(公告)号：CN104348326A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410346693.X

申请日：2014-07-21

Applicant: 智动全球股份有限公司

Inventor： 林素贞 ,  吴名清

IPC: H02K33/02 ,  B81B7/00

CPC classification number: G02B7/08 ,  B81B3/00 ,  B81B3/0018 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/04 ,  B81B2201/042 ,  G02B7/18 ,  G02B7/182 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  H02K33/18 ,  H02K35/00 ,  H02K41/02

Abstract: 本发明提供一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，包括框架部、可动承载部，及二组弹簧结构分别设于可动承载部直线移动方向的二侧用以连接可动承载部于框架部内；透过可动承载部上的导电线圈回路及组弹簧结构设计，通过线圈回路导入电流后与外界的铁磁性材料相互作用而产生的作用力使可动承载部直线移动。该可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。