公开(公告)号：CN111971551A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201980025007.X

申请日：2019-04-10

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 冯野 ,  张燕 ,  奥斯曼·索卡比

IPC: G01N23/201 ,  G01N23/04 ,  G01N21/21 ,  G01B15/04 ,  G03F7/20 ,  G06N20/00

Abstract: 计量系统可以包括被配置为针对经处理的衬底上的一个或多个特征产生光学计量输出的光学计量工具，及已使用以下训练集训练的计量机器学习模型：(i)多个特征的外形、临界尺寸和轮廓，以及(ii)多个特征的光学计量输出。计量机器学习模型可以被配置为：接收来自光学计量工具的光学计量输出；以及输出经处理的衬底上的一个或多个特征的外形、临界尺寸和/或轮廓。

公开(公告)号：CN111971551B

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN201980025007.X

申请日：2019-04-10

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 冯野 ,  张燕 ,  奥斯曼·索卡比

IPC: G01N23/201 ,  G01N23/04 ,  G01N21/21 ,  G01B15/04 ,  G03F7/20 ,  G06N20/00

Abstract: 计量系统可以包括被配置为针对经处理的衬底上的一个或多个特征产生光学计量输出的光学计量工具，及已使用以下训练集训练的计量机器学习模型：(i)多个特征的外形、临界尺寸和轮廓，以及(ii)多个特征的光学计量输出。计量机器学习模型可以被配置为：接收来自光学计量工具的光学计量输出；以及输出经处理的衬底上的一个或多个特征的外形、临界尺寸和/或轮廓。