形貌参数分步拟合方法、装置、存储介质及电子设备

    公开(公告)号:CN119959262A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202411987905.2

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明涉及半导体检测技术领域,尤其涉及一种形貌参数分步拟合方法、装置、存储介质及电子设备,方法包括:利用X射线以不同的入射角照射待测纳米结构;利用探测器接收经过待测纳米结构散射的X射线,得到X射线散射图;对不同入射角下的X射线散射图中的散射峰进行拟合,得到散射峰信息;根据不同入射角下的散射峰信息,拟合得到待测纳米结构的第一待测参数;根据散射峰信息和第一待测参数,拟合得到待测纳米结构的第二待测参数;本发明进行三次逐步拟合,拟合过程中利用衍射级次处的散射数据,同时考虑入射角、方位角及倾角的误差,提升待测纳米结构的形貌参数提取的准确性与鲁棒性。

    执行小角度X射线散射测量数据分析模型的机器学习的方法

    公开(公告)号:CN119907914A

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202380065991.9

    申请日:2023-09-13

    Abstract: 本发明涉及一种生成(E1,E2)训练数据集(41,42)和使用(E3,E31,E32)该训练数据集来执行第一小角度X射线散射SAXS测量数据分析模型(DAM)的机器学习的计算机实施的方法,其中,生成训练数据集包括以下步骤:‑计算(E1)1D SAXS强度分布,每个强度分布与介质中样本的至少一个结构模型的变化的参数相对应;以及‑基于包括2D检测器处的第一X射线波束强度分布的SAXS测量实验设置的第一集合,从所计算的1D SAXS强度分布中的每一个1D SAXS强度分布估计(E2)第一实验1D SAXS强度分布。所述估计包括通过与和第一X射线波束强度分布相关联的点扩展函数的卷积来涂抹所计算的1D SAXS强度分布中的每一个1D SAXS强度分布。

    一种3D NAND量测系统及方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119470509A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411707638.9

    申请日:2024-11-25

    Abstract: 本发明涉及半导体量测技术领域,具体提供一种3D NAND量测系统及方法,在现有的CD‑SAXS量测光路中,基于Talbot效应或分数Talbot效应设计用于增强记忆孔结构散射信号的相位光栅和用于增强深槽结构散射信号的相位光栅,并根据量测需求,利用切换装置控制切换处于量测光路中的光栅,通过相位光栅对探测光进行调制,使照射到样品的探测光光强分布呈现与光栅结构周期及占空比相关的明暗条纹状的分布,然后根据对准机制使明条纹对准需要探测的区域,暗条纹对准需要者滤除的区域,从而实现增强记忆孔结构散射信号和深槽结构散射信号的分离提取,避免两种散射信号相互干扰。

    一种低熔点金属卤化物闪烁体墨水及其制备方法与在定制化X射线成像中的应用

    公开(公告)号:CN118895065A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202410833126.0

    申请日:2024-06-26

    Abstract: 本发明涉及一种低熔点金属卤化物闪烁体墨水及其制备方法与在定制化X射线成像中的应用,属于X射线成像技术领域。本发明金属卤化物闪烁体墨水的结构通式为AmBXn,所述m、n分别表示在A位和X位晶格位置上的元素所占的化学计量比,1≤m≤2,1≤n≤7;A位为有机基团C16H36N或Bmmim,B位为金属元素Cu、Mn、Sb或Te,X为卤素Cl、Br或I。将金属卤化物闪烁体(C16H36N)mBXn或[Bmmim]mBXn直接熔化后,刷涂或喷涂在待测物体表面完成定制化过程,实现高分辨率X射线成像。本发明低熔点金属卤化物闪烁体墨水,可通过结构设计提高透明度和可加工性,同时降低粘度并优化可刷涂或喷涂性能,有效抑制成像过程中的光散射和光串扰等问题,获得高空间分辨率和低检测限。

    解析装置、解析方法以及记录介质

    公开(公告)号:CN118688233A

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410337617.6

    申请日:2024-03-23

    Inventor: 伊藤义泰

    Abstract: 一种解析装置(120),具备:测定数据存储部(123),其存储在1次ω扫描中通过X射线的透射测定的散射强度的数据;坐标转换部(125),其针对基于特定的衍射点的2个方向分量的强度的波形,将散射矢量的坐标向散射体的倾斜度的坐标进行坐标转换;峰位置确定部(126),其确定相对于坐标转换后的倾斜度的坐标的强度的波形的峰位置;以及倾斜度算出部(127),其算出所确定的峰位置与假设散射体不从与板状试样的表面垂直的方向倾斜而求出的峰位置的差值。

    一种Al-Zn-Mg-Cu合金及其复合材料时效处理温度的确定方法

    公开(公告)号:CN118604027A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410686853.9

    申请日:2024-05-30

    Abstract: 本发明提供一种Al‑Zn‑Mg‑Cu合金及其复合材料的时效处理温度的确定方法,涉及Al‑Zn‑Mg‑Cu系合金及其复合材料的热处理技术领域,通过小角度中子散射或小角度X射线散射测试确定待测材料的时效处理温度;其中,待测材料为固溶处理后的Al‑Zn‑Mg‑Cu合金或Al‑Zn‑Mg‑Cu合金复合材料。确定Al‑Zn‑Mg‑Cu合金及其复合材料时效处理温度后,对Al‑Zn‑Mg‑Cu合金或其复合材料进行固溶处理后,冷却至室温;将水淬后的Al‑Zn‑Mg‑Cu合金或其复合材料以恒定的升温速率进行升温时效,再以恒定的降温速率进行降温时效,然后空冷至室温。本发明确定转折温度的方法,不仅便捷高效而且可适用于各种成分体系的Al‑Zn‑Mg‑Cu合金或其复合材料中。

    一种二维-小角X射线散射估测石墨烯纤维单轴取向值的方法

    公开(公告)号:CN118604026A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410856410.X

    申请日:2024-06-28

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种二维‑小角X射线散射估测石墨烯纤维单轴取向值的方法,用小角X射线散射仪中的二维面探测器对石墨烯纤维样品进行测试,以获得纤维散射二维电子密度分布图,采用FIT2D软件对得到的纤维散射二维电子密度分布图像进行图形分析,获得赤道线上Debye环的强度分布曲线的半高宽;采用FIT2D软件分析纤维散射二维电子密度分布图,得到石墨烯纤维样品的方位角ɸ,根据计算公式:ƒ=(3 cos2ɸ‑1)/2,计算纤维单轴取向值ƒ。本发明结合数字和图像处理相结合技术,能快速获得大量测试数据进行统计分析,数据获取效率高,大大降低了数据获取的时间成本,且较大量的数据结果具有统计意义,使测试结果更具可比性与参考性。

    小角X射线散射仪
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113970566B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202111417960.4

    申请日:2021-11-25

    Inventor: 武美玲

    Abstract: 本发明公开了小角X射线散射仪,包括底座,所述底座内部设置有控制器,所述底座上部设置有用于产生测试所需X射线的测试光源机构、用于放置和移动样品的样品放置机构和探测机构,所述测试光源机构、样品放置机构和探测机构从左到右依次设置,所述样品放置机构包括样品舱、设置在样品舱内部的可在竖直平面二维运动的样品架机构以及设置在样品架机构上的样品放置台,所述控制器用于控制测试光源机构、样品放置机构和探测机构工作。本发明当探测器靠近样品时,可以获得样品的小角散射信号;当探测器远离样品时,可以获得样品的广角衍射信号;可以实现小角与广角数据的采集,应用范围更加广泛。

    散射测量分析方法、散射测量分析装置及信息存储介质

    公开(公告)号:CN113049615B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202011565438.6

    申请日:2020-12-25

    Abstract: 本发明提供一种通过抑制对系统大小的制约的方法来计算理论散射强度散射测量分析方法、散射测量装置、及信息存储介质。所述散射测量分析方法包括从多粒子系散射体的结构模型取得理论散射强度的理论散射强度取得步骤,在所述理论散射强度取得步骤中,通过第1计算、第2计算中与距离r对应的至少一者取得多个散射体中散射体m和与该散射体m距离r的散射体n的组合对所述理论散射强度的贡献,所述第1计算根据各自的散射因子fm(q)、fn*(q)及中心间距离rmn计算散射体m和散射体n的贡献,所述第2计算由第1代表值代替所述散射体n的散射因子fn*(q)并且由固定值代替距离r处存在的散射体数量的概率密度函数。

    一种基于SAXS分析脂质纳米粒子的方法、装置、存储介质、终端和系统

    公开(公告)号:CN118376635A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410818897.2

    申请日:2024-06-24

    Abstract: 本发明提供一种基于SAXS分析脂质纳米粒子的方法、装置、存储介质、终端和系统,所述方法包括以下步骤:获取步骤:获取基于同步辐射SAXS的脂质纳米粒子的实验图谱;建模步骤:结合脂质纳米粒子的多层囊泡结构特征,构建散射数据分析模型;解析步骤:通过最小二乘法拟合优化所述散射数据分析模型中的结构参数,使得基于散射数据模型获得的计算图谱与实验图谱之间的方差最小,从而解析出所述散射数据分析模型中的各结构参数,以分析出脂质纳米粒子的内部结构。本发明根据LNP的结构特性,建立了优化的脂质纳米粒子SAXS分析模型与分析方法,该技术方案可用于监测LNP药物递送样本的产品质量和稳定性。

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