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公开(公告)号：CN101896637A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200880121177.X
申请日：2008-09-09
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC: C23C16/00 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
Abstract: 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102766855A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201210273737.1
申请日：2008-09-09
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC: C23C16/455
CPC classification number: H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
Abstract: 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN101896637B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200880121177.X
申请日：2008-09-09
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC: C23C16/00 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
Abstract: 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN102766855B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210273737.1
申请日：2008-09-09
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 格雷格·贝当古 , 拉金德尔·德辛德萨 , 乔治·迪尔克斯 , 兰德尔·A·哈丁 , 乔恩·科尔 , 杜安·莱特尔 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 罗杰·帕特里克 , 约翰·佩格 , 莎伦·斯宾塞
IPC: C23C16/455
CPC classification number: H01J37/04 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , H01J37/3255 , H01J37/32605 , H01J37/32724 , H01J2237/032
Abstract: 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。
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公开(公告)号：CN101442872B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200810179010.0
申请日：2008-11-21
Applicant: 朗姆研究公司
CPC classification number: H01J37/32605
Abstract: 本发明大体上涉及等离子处理室以及用于其中的电极组件。根据一个实施例，电极组件包含热控板、硅基喷头电极以及包含导电的探针主体以及硅基盖的探针组件。该电极组件如此配置，即该硅基盖与该探针主体头部螺纹啮合的旋向性以及该热控板与该探针主体的中部螺纹啮合的旋向性具有共同的旋转方向。因此，对该硅基盖在紧固的旋转方向上施加扭矩使两个螺纹啮合变得紧固。进一步地，该电极组件如此配置，即该硅基盖与该探针主体头部的螺纹啮合允许该硅基盖与该探针主体重复非破坏性啮合和分开。
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公开(公告)号：CN101442872A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200810179010.0
申请日：2008-11-21
Applicant: 朗姆研究公司
CPC classification number: H01J37/32605
Abstract: 本发明大体上涉及等离子处理室以及用于其中的电极组件。根据一个实施例，电极组件包含热控板、硅基喷头电极以及包含导电的探针主体以及硅基盖的探针组件。该电极组件如此配置，即该硅基盖与该探针主体头部螺纹啮合的旋向性以及该热控板与该探针主体的中部螺纹啮合的旋向性具有共同的旋转方向。因此，对该硅基盖在紧固的旋转方向上施加扭矩使两个螺纹啮合变得紧固。进一步地，该电极组件如此配置，即该硅基盖与该探针主体头部的螺纹啮合允许该硅基盖与该探针主体重复非破坏性啮合和分开。
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