公开(公告)号：JP5529369B2

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：JP2007235031

申请日：2007-09-11

Applicant: 東ソー株式会社 ,  東ソ−・エスジ−エム株式会社

Inventor： 一喜 新井 ,  努 高畑 ,  眞吉 橋本 ,  雅人 内田 ,  修輔 山田 ,  美徳 原田 ,  秀春 堀越

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C4/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

公开(公告)号：JP5663870B2

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：JP2009293432

申请日：2009-12-24

Applicant: 東ソー株式会社

Inventor： 修輔 山田 ,  修輔 山田 ,  美徳 原田 ,  美徳 原田 ,  眞吉 橋本 ,  眞吉 橋本 ,  一喜 新井 ,  一喜 新井

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

公开(公告)号：JP4504036B2

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：JP2004024462

申请日：2004-01-30

Applicant: 東ソー・クォーツ株式会社 ,  東ソー株式会社

Inventor： 雅人 内田 ,  美徳 原田 ,  修輔 山田 ,  俊 松田 ,  努 高畑

IPC: C03B20/00 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  Y02P40/57

公开(公告)号：JP4176872B2

公开(公告)日：2008-11-05

申请号：JP20017898

申请日：1998-07-15

Applicant: 東ソー・クォーツ株式会社 ,  東ソー株式会社

Inventor： 修輔 山田 ,  眞吉 橋本 ,  孝次 津久間 ,  英明 瀬川 ,  智幸 秋山

IPC: C03B20/00 ,  C03C10/14 ,  C03C10/00

CPC classification number: C03C10/0009

公开(公告)号：JP6252257B2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：JP2014040971

申请日：2014-03-03

Applicant: 東ソー株式会社

Inventor： 聡里 平井 ,  聡里 平井 ,  修輔 山田 ,  修輔 山田 ,  一喜 新井 ,  一喜 新井

IPC: C03B20/00 ,  C03C11/00

公开(公告)号：JP4256955B2

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：JP25357698

申请日：1998-09-08

Applicant: 東ソー・クォーツ株式会社 ,  東ソー株式会社

Inventor： 修輔 山田 ,  眞吉 橋本 ,  孝次 津久間 ,  英明 瀬川 ,  智幸 秋山 ,  義一 菊地

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

CPC classification number: C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00