电子源装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1753130A

    公开(公告)日:2006-03-29

    申请号:CN200510106468.X

    申请日:2005-09-26

    CPC classification number: H01J1/312 B82Y10/00 H01J31/127

    Abstract: 一种电子源装置,其包括:多个电子发射部分,它们被布置在Si基底上的矩阵中;以及多条相互正交的发射极线和栅极线,多个电子发射部分中的每一个发射部分都由来自于多条发射极线和多条栅极线的信号进行控制,以执行相互独立的发射电子操作。另外,设置了包围着对应发射极线的器件隔离区;在各条发射极线上制出接触孔;在被器件隔离区包围着的区域的外部区域上,设置了与各条发射极线相对应的多个发射极线安装电极;以及借助于接触孔,连接到各个发射极线安装电极的导线被连接到与各个发射极线安装电极所对应的发射极线上。因此,电子源装置能实现密度的提高和尺寸的缩小。

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