公开(公告)号：CN103180699B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180051362.8

申请日：2011-07-26

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 原吉宏

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/4535 ,  G02B26/0858

Abstract: 在分光测定前的粗调工序中，使移动镜移动（＃11），将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加，来检测干涉光的对比度的变化（＃12），并且基于该对比度的变化，检测两反射光的相对倾斜量（＃13），对初始倾斜误差进行修正（＃14）。另一方面，在分光测定前的微调工序中，基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对初始倾斜误差进行修正。

公开(公告)号：CN103180699A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201180051362.8

申请日：2011-07-26

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 原吉宏

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/4535 ,  G02B26/0858

Abstract: 在分光测定前的粗调工序中，使移动镜移动（＃11），将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加，来检测干涉光的对比度的变化（＃12），并且基于该对比度的变化，检测两反射光的相对倾斜量（＃13），对初始倾斜误差进行修正（＃14）。另一方面，在分光测定前的微调工序中，基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对初始倾斜误差进行修正。