超纯水制造装置的控制方法

    公开(公告)号:CN114867692B

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202080090296.4

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 在本发明中,在一次纯水装置(3)中,在与供水泵(8)连通的电去离子装置(9)上附设有直流电源器(9A),并能够将电去离子装置(9)的脱盐水(W2)供给至子罐(11)。在该子罐(11)设置有液位开关(21)。另外,在电去离子装置(9)的脱盐水(W2)的流路(22)上设置有控制阀(23)和流量计(24),另一方面,在电去离子装置(9)的浓缩水(W5)的流路(25)上也设置有控制阀(26)和流量计(27)。并且,能够向控制装置(28)发送液位开关(21)、流量计(24、27)的测量数据,并且能够控制供水泵(8)、控制阀(23、26)。这样一来,提供一种能够根据子系统的使用量来制造一次纯水的超纯水制造装置的控制方法。

    过氧化氢去除方法及装置

    公开(公告)号:CN111183118B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201880065236.X

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 在向铂系催化剂填充管柱(21~25)中通入含过氧化氢的水并分解去除过氧化氢的方法及装置中,通过在规定时间内停止对一部分管柱的通水,并将该管柱内的铂系催化剂保存在超纯水中,而使过氧化氢去除性能恢复。在该规定时间内,可向已停止该通水的管柱中流入氮气或氢溶解水,也可增加向其它管柱中的通水量。

    纯水制造装置
    3.
    发明公开
    纯水制造装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119866315A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202380065498.7

    申请日:2023-09-15

    Inventor: 港康晴

    Abstract: 在纯水制造装置(3)中,反渗透膜系统(12)成为并列配置有3个反渗透膜(12A)、(12B)、(12C)的构成,供水泵(11A)能够通过控制机构进行控制以供给与纯水制造装置(3)中的被处理水(W5)的要求量相应的量的前处理水(W0)。在供水泵(11A)的前段设置有流量计(32),能够通过控制机构基于该流量计(32)的检测值对反渗透膜(12A)、(12B)、(12C)的通水个数进行控制。根据这种纯水制造装置,即使流量随着使用水量等变动也能够使水质稳定,并且能够实现节能。

    TOC处理装置和处理方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114269696A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202080059668.7

    申请日:2020-09-15

    Abstract: 本发明提供一种能够稳定地制造目标TOC水质的处理水的TOC处理装置和处理方法。TOC处理装置构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置(2)和去离子装置(4),其特征在于,具有:流量计,测量紫外线氧化装置(2)的流量;TOC计(6),测量去离子装置(4)的流出水的TOC浓度;以及控制装置(7),被输入流量计的测量值和TOC计(4)的测量值,并基于这些测量值控制紫外线氧化装置(2)的紫外线照射量。

    纯水制造系统的运转方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117677589A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202280050729.2

    申请日:2022-03-17

    Abstract: 本发明的一次纯水制造装置具有反渗透膜装置、脱气膜装置、紫外线氧化装置、电去离子装置(9)以及向该电去离子装置(9)供给供水的供水泵。该一次纯水制造装置中,将通过紫外线氧化装置(7)处理过的被处理水(W4)向电去离子装置(9)通水,去除因通过UV氧化而分解的有机物导致的离子性杂质,制造脱盐水(W5)。此时,通过分取出作为电去离子装置(9)的浓缩室(26)以及电极室(阳极室(27)、阴极室(28))的供给水(电极水)的脱盐水(W5)并供给,使电去离子装置(9)的浓缩室(26)以及电极室(阳极室(27)、阴极室(28))的供给水的过氧化氢浓度小于向脱盐室(25)供给的被处理水(W4)的过氧化氢浓度。根据本发明,能够提出以简单结构能抑制电去离子装置的电极、浓缩室、电极室内的离子交换体的恶化的纯水制造系统的运转方法。

    超纯水制造装置的控制方法

    公开(公告)号:CN114867692A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202080090296.4

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 在本发明中,在一次纯水装置(3)中,在与供水泵(8)连通的电去离子装置(9)上附设有直流电源器(9A),并能够将电去离子装置(9)的脱盐水(W2)供给至子罐(11)。在该子罐(11)设置有液位开关(21)。另外,在电去离子装置(9)的脱盐水(W2)的流路(22)上设置有控制阀(23)和流量计(24),另一方面,在电去离子装置(9)的浓缩水(W5)的流路(25)上也设置有控制阀(26)和流量计(27)。并且,能够向控制装置(28)发送液位开关(21)、流量计(24、27)的测量数据,并且能够控制供水泵(8)、控制阀(23、26)。这样一来,提供一种能够根据子系统的使用量来制造一次纯水的超纯水制造装置的控制方法。

    纯水制造装置
    7.
    发明公开
    纯水制造装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119855789A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202380065494.9

    申请日:2023-09-15

    Inventor: 港康晴

    Abstract: 一次纯水装置(3)在紫外线氧化装置(13)的后段具有流量计(41),并且具有能够基于该流量计(41)的检测值对紫外线氧化装置(13)的紫外线的照射量进行控制的控制机构。作为紫外线氧化装置(13),使用由复数个紫外线灯块构成,并通过控制机构对点亮的块数进行控制并且调整各块的紫外线灯的照度从而能够对紫外线氧化装置(13)中的紫外线的照射量进行控制的装置。并且,在紫外线氧化装置(13)的后段,利用流量计(41)测定处理水量,根据处理水量相对于作为预先设定的基准的流量的增减,进行控制以增减紫外线氧化装置(13)中的紫外线的照射量。根据这种纯水制造装置,即使处理水量随着紫外线氧化装置的使用水量等发生变动,也能够抑制过氧化氢的产生。

    过氧化氢去除方法及装置

    公开(公告)号:CN111183118A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201880065236.X

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 在向铂系催化剂填充管柱(21~25)中通入含过氧化氢的水并分解去除过氧化氢的方法及装置中,通过在规定时间内停止对一部分管柱的通水,并将该管柱内的铂系催化剂保存在超纯水中,而使过氧化氢去除性能恢复。在该规定时间内,可向已停止该通水的管柱中流入氮气或氢溶解水,也可增加向其它管柱中的通水量。

    超纯水制造装置以及超纯水制造装置的运转方法

    公开(公告)号:CN110049952A

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201780076079.8

    申请日:2017-09-12

    Abstract: 一种超纯水制造装置(1),其包括:预处理装置(2)、一次纯水制造装置(3)以及子系统(4)。一次纯水制造装置(3)包括:槽(5)、紫外线氧化装置(6)、铂族金属催化剂树脂塔(7)、再生型离子交换装置(8)以及膜式脱气装置(9)。子系统(4)包括:子槽(11)、对从该子槽(11)供应的一次纯水进行处理的紫外线氧化装置(12)、铂族金属催化剂树脂塔(13)、膜式脱气装置(14)、非再生型混床式离子交换装置(15)以及超滤(UF)膜(16)。铂族金属催化剂树脂是使铂族金属负载于载体树脂而得到的,特别优选使铂族金属的纳米级粒径的粒子负载于载体树脂而得到的铂族金属催化剂树脂。基于该超纯水制造装置(1),通过在子系统(4)中具备紫外线氧化装置(12)和铂族金属催化剂树脂塔(13),能够抑制过氧化氢去除能力的下降。

    TOC处理装置和处理方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114269696B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202080059668.7

    申请日:2020-09-15

    Abstract: 本发明提供一种能够稳定地制造目标TOC水质的处理水的TOC处理装置和处理方法。TOC处理装置构成为具有对被处理水照射紫外线来分解TOC成分的紫外线氧化装置(2)和去离子装置(4),其特征在于,具有:流量计,测量紫外线氧化装置(2)的流量;TOC计(6),测量去离子装置(4)的流出水的TOC浓度;以及控制装置(7),被输入流量计的测量值和TOC计(4)的测量值,并基于这些测量值控制紫外线氧化装置(2)的紫外线照射量。

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