公开(公告)号：JPWO2010082567A1

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：JP2010546622

申请日：2010-01-12

Applicant: 株式会社エクサ ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 共平 綱島 ,  共平 綱島 ,  一樹 楠原 ,  一樹 楠原

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B65G59/02 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67092 ,  H01L31/18

Abstract: 安価且つ小型でありながら、分離・搬送時におけるウエハの分離性能を向上すると共に、分離・搬送時におけるウエハの破損等の発生を抑制することができるウエハ分離装置を提供する。枚葉化された多数枚のウエハ(W)を密着状態の縦置きで収納すると共に少なくとも上下に開放するカセット(12)と、カセット(12)を着脱可能に支持し且つ少なくとも上下に開放するカセット支持体(13)と、カセット支持体(13)をカセット(12)と一体に昇降させる昇降装置(14)と、昇降装置(14)が下降した際にカセット支持体(13)がカセット(12)と一体に浸される液体を収容した液槽(16)と、液槽(16)内に設置されてカセット支持体(13)の下方から多数枚のウエハ(W)に向って微細気泡を噴出するノズル(17)と、ノズル(17)から噴出される微細気泡を発生させる微細気泡発生装置(18)と、を備えている。

公开(公告)号：JP5498398B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2010546622

申请日：2010-01-12

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 共平 綱島 ,  一樹 楠原

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B65G59/02 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67092 ,  H01L31/18

公开(公告)号：JPWO2012005344A1

公开(公告)日：2013-09-05

申请号：JP2012523925

申请日：2011-07-08

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 共平 綱島 ,  共平 綱島 ,  一樹 楠原 ,  一樹 楠原

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67092 ,  H01L21/67057

Abstract: 枚葉化された多数枚のウエハ(W)を密着状態の横置きで収納すると共に少なくとも左右に開放するカセット(12)と、該カセットを着脱可能支持し且つ少なくとも左右に開放するカセット支持体(13)と、該カセット支持体を前記カセットと一体に昇降させる昇降装置(14)と、該昇降装置が下降した際に前記カセット支持体が前記カセットと一体に浸される液体を収容した液槽(16)と、該液槽内に設置されて前記カセット支持体の側面から多数枚のウエハに向って微細気泡を噴出するノズル(17)と、該ノズルから噴出される微細気泡を発生させる微細気泡発生装置(18)とを備えていることを特徴とするウエハ分離装置(11)。