公开(公告)号：CN1637380A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410101772.0

申请日：2004-12-22

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 小岛司 ,  樱田淳二 ,  玉井利幸 ,  松宫贞行 ,  加纳孝文 ,  野口和志

IPC: G01B21/00 ,  G01B21/10

CPC classification number: G01B5/201 ,  G01B5/08 ,  G01B5/28

Abstract: 一种宽度测量方法和表面特性测量机，该表面特性测量机具有：可以旋转地放置被测量物的旋转台；可以沿着与该旋转台的旋转轴心平行的Z轴方向移动的Z轴滑动部件；被保持在该Z轴滑动部件上、并可以沿着与上述旋转轴心正交的X轴方向进退的X轴滑动部件；被保持在该X轴滑动部件上、并能以与X轴平行的中心线A为中心旋转的第1臂；被保持在该第1臂上、并可沿着与X轴正交的方向进退的第2臂；被保持在该第2臂上、用于测量上述被测量物的表面特性的检测器。

公开(公告)号：CN100412505C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200410101772.0

申请日：2004-12-22

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 小岛司 ,  樱田淳二 ,  玉井利幸 ,  松宫贞行 ,  加纳孝文 ,  野口和志

IPC: G01B21/00 ,  G01B21/10

CPC classification number: G01B5/201 ,  G01B5/08 ,  G01B5/28

Abstract: 一种宽度测量方法和表面特性测量机，该表面特性测量机具有：可以旋转地放置被测量物的旋转台；可以沿着与该旋转台的旋转轴心平行的Z轴方向移动的Z轴滑动部件；被保持在该Z轴滑动部件上、并可以沿着与上述旋转轴心正交的X轴方向进退的X轴滑动部件；被保持在该X轴滑动部件上、并能以与X轴平行的中心线A为中心旋转的第1臂；被保持在该第1臂上、并可沿着与X轴正交的方向进退的第2臂；被保持在该第2臂上、用于测量上述被测量物的表面特性的检测器。