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公开(公告)号:CN1637380A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200410101772.0
申请日:2004-12-22
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种宽度测量方法和表面特性测量机,该表面特性测量机具有:可以旋转地放置被测量物的旋转台;可以沿着与该旋转台的旋转轴心平行的Z轴方向移动的Z轴滑动部件;被保持在该Z轴滑动部件上、并可以沿着与上述旋转轴心正交的X轴方向进退的X轴滑动部件;被保持在该X轴滑动部件上、并能以与X轴平行的中心线A为中心旋转的第1臂;被保持在该第1臂上、并可沿着与X轴正交的方向进退的第2臂;被保持在该第2臂上、用于测量上述被测量物的表面特性的检测器。
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公开(公告)号:CN100412505C
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN200410101772.0
申请日:2004-12-22
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种宽度测量方法和表面特性测量机,该表面特性测量机具有:可以旋转地放置被测量物的旋转台;可以沿着与该旋转台的旋转轴心平行的Z轴方向移动的Z轴滑动部件;被保持在该Z轴滑动部件上、并可以沿着与上述旋转轴心正交的X轴方向进退的X轴滑动部件;被保持在该X轴滑动部件上、并能以与X轴平行的中心线A为中心旋转的第1臂;被保持在该第1臂上、并可沿着与X轴正交的方向进退的第2臂;被保持在该第2臂上、用于测量上述被测量物的表面特性的检测器。
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