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公开(公告)号：CN107525457A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710456419.1
申请日：2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 大坪圣一
IPC: G01B5/30
Abstract: 本发明提供一种工业机械。该工业机械简单且高精度地计算由工件的载荷引起的引导部的变形量。该三维测量装置(1)包括：立柱(22)，其相对于载置工件的载置面(11)能够相对移动；引导部(12)，其设于载置面(11)上，引导立柱(22)；直线编码器(50)的标尺(52)，其被支承在引导部(12)的侧面(12a)；以及检测器(56、57)，其设于立柱(22)，检测与标尺(52)之间的相对位移，其中，检测器(56、57)分别检测立柱(22)的移动方向以及铅垂方向上的位移，该工业机械还包括变形量计算部(943)，该变形量计算部(943)根据检测器(56、57)的检测结果，获取引导部(12)相对于标尺(52)的相对的变形量。
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公开(公告)号：CN1680771A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510064518.2
申请日：2005-04-11
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/0009
Abstract: 一种滑动装置，包括：底座部(200)；行走座(300)，该行走座(300)设置在底座部(200)上，并可沿由规定导向机构(400)导向的方向相对于底座部(200)滑动；齿条(510)，该齿条(510)沿导向机构(400)的导向方向固定于底座部(200)上；小齿轮(520)，该小齿轮(520)与齿条(510)的齿啮合，由规定驱动源(564)旋转驱动；摆臂(540)，该摆臂(540)由轴可旋转地支承小齿轮(520)，且具有与小齿轮(520)的旋转轴大致平行的摆动轴(550)，以连结摆动轴(550)与小齿轮(520)的旋转轴的线相对于齿条(510)大致平行的状态为基准状态，上述摆臂(540)通过摆动轴(550)可摆动地连接于行走座(300)上；加力机构(570)，该加力机构(570)经由摆臂(540)朝向齿条(510)对小齿轮(520)施加力。
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公开(公告)号：CN109211171B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201810725986.7
申请日：2018-07-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种门式移动装置和三维测量仪。本发明涉及提高门式移动装置的精度的技术。门式移动装置(100)包括：基台(110)；门式移动体(120)，其隔着空气层地载置在所述基台上，并以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动；以及空气轴承(1)，其用于形成所述空气层，本发明的特征在于，所述门式移动体(120)包括立设于所述基台的上表面的两个腿部(130A、130B)、连接所述腿部的梁部(130)、以及沿着所述梁部(130)移动的梁方向移动体(150)，所述空气轴承(1)设于至少一个所述腿部的背面，具有朝向所述基台(110)的上表面开口的空气吹出口和空气抽吸口，所述空气抽吸口用于抽吸该空气抽吸口周边的空气而对该空气轴承(1)施加预压。
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公开(公告)号：CN107525457B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201710456419.1
申请日：2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 大坪圣一
IPC: G01B5/30
Abstract: 本发明提供一种工业机械。该工业机械简单且高精度地计算由工件的载荷引起的引导部的变形量。该三维测量装置(1)包括：立柱(22)，其相对于载置工件的载置面(11)能够相对移动；引导部(12)，其设于载置面(11)上，引导立柱(22)；直线编码器(50)的标尺(52)，其被支承在引导部(12)的侧面(12a)；以及检测器(56、57)，其设于立柱(22)，检测与标尺(52)之间的相对位移，其中，检测器(56、57)分别检测立柱(22)的移动方向以及铅垂方向上的位移，该工业机械还包括变形量计算部(943)，该变形量计算部(943)根据检测器(56、57)的检测结果，获取引导部(12)相对于标尺(52)的相对的变形量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109211171A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810725986.7
申请日：2018-07-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C29/025 , F16C2370/00 , G01B5/0004 , G01B5/008 , G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种门式移动装置和三维测量仪。本发明涉及提高门式移动装置的精度的技术。门式移动装置(100)包括：基台(110)；门式移动体(120)，其隔着空气层地载置在所述基台上，并以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动；以及空气轴承(1)，其用于形成所述空气层，本发明的特征在于，所述门式移动体(120)包括立设于所述基台的上表面的两个腿部(130A、130B)、连接所述腿部的梁部(130)、以及沿着所述梁部(130)移动的梁方向移动体(150)，所述空气轴承(1)设于至少一个所述腿部的背面，具有朝向所述基台(110)的上表面开口的空气吹出口和空气抽吸口，所述空气抽吸口用于抽吸该空气抽吸口周边的空气而对该空气轴承(1)施加预压。
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公开(公告)号：CN102346026A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110218335.7
申请日：2011-08-01
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 本发明提供一种工业用机械，该工业用机械是三维测量机(1)，其包括：沿着Z轴的立柱(221)以及支柱(225)；滑动件(223)，其能够在被设在该立柱与支柱之间的梁(222)上移动；杆件(224)，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在滑动件上；温度检测传感器(226)以及温度检测部(32)，该温度检测传感器以及温度检测部用于对立柱(221)、支柱(225)、杆件(224)的各自的温度进行检测；偏移量算出部(33)，其根据上述的立柱(221)、支柱、杆件的各自的温度、表示上述的立柱、支柱、杆件的在基准温度条件下的位置关系的基准位置数据、上述的立柱、支柱、杆件的各自的热膨胀系数算出上述Z轴偏移量。
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公开(公告)号：CN102346026B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201110218335.7
申请日：2011-08-01
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 本发明提供一种工业用机械，该工业用机械是三维测量机(1)，其包括：沿着Z轴的立柱(221)以及支柱(225)；滑动件(223)，其能够在被设在该立柱与支柱之间的梁(222)上移动；杆件(224)，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在滑动件上；温度检测传感器(226)以及温度检测部(32)，该温度检测传感器以及温度检测部用于对立柱(221)、支柱(225)、杆件(224)的各自的温度进行检测；偏移量算出部(33)，其根据上述的立柱(221)、支柱、杆件的各自的温度、表示上述的立柱、支柱、杆件的在基准温度条件下的位置关系的基准位置数据、上述的立柱、支柱、杆件的各自的热膨胀系数算出上述Z轴偏移量。
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