公开(公告)号：CN108534731B

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN201810176118.8

申请日：2018-03-02

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 木村義治 ,  大山良和 ,  河原井一晃

IPC: G01B21/04

Abstract: 本发明提供测头用的升降驱动装置和采用该升降驱动装置的测量机。该升降驱动装置是贯穿于引导筒(22)并被隔着空气层引导的Z轴测杆(12)用的升降驱动装置，其特征在于，包括：金属丝(18)，其从Z轴测杆(12)的内部向上方延伸，上端支承于引导筒(22)；活塞(29)，其连接于金属丝(18)的下端；缸体(20)，其设于Z轴测杆(12)，向由活塞(29)划分的缸室供给空气，使该缸体(20)相对于活塞(29)上下运动；驱动辊(15)，其设于Z轴测杆(12)，处于与Z轴测杆(12)的表面接触的状态；以及驱动用的马达(17)，该升降驱动装置能实现被空气轴承引导的Z轴测杆的高精度的直动性和迅速的升降动作，且构造简单化、轻量化及适于振动对策。

公开(公告)号：CN108534731A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810176118.8

申请日：2018-03-02

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 木村義治 ,  大山良和 ,  河原井一晃

IPC: G01B21/04

CPC classification number: F16H19/025 ,  F15B15/14 ,  F16H2712/06 ,  F16M13/022 ,  F16M2200/04 ,  G01B5/008 ,  G01B5/012 ,  G01B5/20 ,  G01B11/005 ,  G01B11/24 ,  G01B21/04 ,  G01B21/047

Abstract: 本发明提供测头用的升降驱动装置和采用该升降驱动装置的测量机。该升降驱动装置是贯穿于引导筒(22)并被隔着空气层引导的Z轴测杆(12)用的升降驱动装置，其特征在于，包括：金属丝(18)，其从Z轴测杆(12)的内部向上方延伸，上端支承于引导筒(22)；活塞(29)，其连接于金属丝(18)的下端；缸体(20)，其设于Z轴测杆(12)，向由活塞(29)划分的缸室供给空气，使该缸体(20)相对于活塞(29)上下运动；驱动辊(15)，其设于Z轴测杆(12)，处于与Z轴测杆(12)的表面接触的状态；以及驱动用的马达(17)，该升降驱动装置能实现被空气轴承引导的Z轴测杆的高精度的直动性和迅速的升降动作，且构造简单化、轻量化及适于振动对策。