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公开(公告)号:CN108534731A
公开(公告)日:2018-09-14
申请号:CN201810176118.8
申请日:2018-03-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
CPC classification number: F16H19/025 , F15B15/14 , F16H2712/06 , F16M13/022 , F16M2200/04 , G01B5/008 , G01B5/012 , G01B5/20 , G01B11/005 , G01B11/24 , G01B21/04 , G01B21/047
Abstract: 本发明提供测头用的升降驱动装置和采用该升降驱动装置的测量机。该升降驱动装置是贯穿于引导筒(22)并被隔着空气层引导的Z轴测杆(12)用的升降驱动装置,其特征在于,包括:金属丝(18),其从Z轴测杆(12)的内部向上方延伸,上端支承于引导筒(22);活塞(29),其连接于金属丝(18)的下端;缸体(20),其设于Z轴测杆(12),向由活塞(29)划分的缸室供给空气,使该缸体(20)相对于活塞(29)上下运动;驱动辊(15),其设于Z轴测杆(12),处于与Z轴测杆(12)的表面接触的状态;以及驱动用的马达(17),该升降驱动装置能实现被空气轴承引导的Z轴测杆的高精度的直动性和迅速的升降动作,且构造简单化、轻量化及适于振动对策。
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公开(公告)号:CN111089551A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201911006067.5
申请日:2019-10-22
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量机。提供包括如下Z主轴的移动机构:该Z主轴的姿态在Z主轴上下移动时几乎不变,并且具有较小的因迟滞而导致的测量误差。移动机构包括Z轴移动机构和使Z轴移动机构沿水平方向移动的X轴移动机构。Z轴移动机构包括在竖直方向上具有长度的Z主轴和使Z主轴沿竖直方向移动的Z轴驱动单元。Z轴驱动单元包括:开放带,其具有固定在Z主轴的上端部附近的上端和固定在Z主轴的下端部附近的下端;驱动轮,其供开放带卷绕并上下输送和驱动开放带;上张紧辊,其推动开放带抵靠Z主轴;以及下张紧辊,其推动开放带抵靠Z主轴。X轴移动机构的框架部通过插入Z主轴将Z轴驱动单元支撑在面对X轴引导部的位置。
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公开(公告)号:CN108278957A
公开(公告)日:2018-07-13
申请号:CN201711408260.2
申请日:2017-12-22
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明涉及形状测量装置和移动机构。三维测量仪(形状测量装置)具有:工作台(3(第1构件))和立柱(41(第2构件)),其在预定的移动方向上相对移动;引导面(31),其形成于工作台(3),并具有在移动方向上延伸且互相平行的引导区域(311)和驱动区域(312);空气垫(11),其形成于立柱(41),并与引导区域(311)相对;以及驱动辊(19),其形成于立柱(41),并在驱动区域(312)滚动。
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公开(公告)号:CN111089551B
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN201911006067.5
申请日:2019-10-22
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量机。提供包括如下Z主轴的移动机构:该Z主轴的姿态在Z主轴上下移动时几乎不变,并且具有较小的因迟滞而导致的测量误差。移动机构包括Z轴移动机构和使Z轴移动机构沿水平方向移动的X轴移动机构。Z轴移动机构包括在竖直方向上具有长度的Z主轴和使Z主轴沿竖直方向移动的Z轴驱动单元。Z轴驱动单元包括:开放带,其具有固定在Z主轴的上端部附近的上端和固定在Z主轴的下端部附近的下端;驱动轮,其供开放带卷绕并上下输送和驱动开放带;上张紧辊,其推动开放带抵靠Z主轴;以及下张紧辊,其推动开放带抵靠Z主轴。X轴移动机构的框架部通过插入Z主轴将Z轴驱动单元支撑在面对X轴引导部的位置。
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公开(公告)号:CN108534731B
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN201810176118.8
申请日:2018-03-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明提供测头用的升降驱动装置和采用该升降驱动装置的测量机。该升降驱动装置是贯穿于引导筒(22)并被隔着空气层引导的Z轴测杆(12)用的升降驱动装置,其特征在于,包括:金属丝(18),其从Z轴测杆(12)的内部向上方延伸,上端支承于引导筒(22);活塞(29),其连接于金属丝(18)的下端;缸体(20),其设于Z轴测杆(12),向由活塞(29)划分的缸室供给空气,使该缸体(20)相对于活塞(29)上下运动;驱动辊(15),其设于Z轴测杆(12),处于与Z轴测杆(12)的表面接触的状态;以及驱动用的马达(17),该升降驱动装置能实现被空气轴承引导的Z轴测杆的高精度的直动性和迅速的升降动作,且构造简单化、轻量化及适于振动对策。
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公开(公告)号:CN108278957B
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN201711408260.2
申请日:2017-12-22
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明涉及形状测量装置和移动机构。三维测量仪(形状测量装置)具有:工作台(3(第1构件))和立柱(41(第2构件)),其在预定的移动方向上相对移动;引导面(31),其形成于工作台(3),并具有在移动方向上延伸且互相平行的引导区域(311)和驱动区域(312);空气垫(11),其形成于立柱(41),并与引导区域(311)相对;以及驱动辊(19),其形成于立柱(41),并在驱动区域(312)滚动。
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