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公开(公告)号:CN108387167A
公开(公告)日:2018-08-10
申请号:CN201810101501.7
申请日:2018-02-01
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B7/02
CPC classification number: G01D5/2415 , G01B7/02
Abstract: 位移检测器被配置为由布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号,以基于所接收的信号来检测检测头和标尺之间的位移。发送信号从布置在检测头中的发送电极通过布置在标尺中的耦合电极发送到接收电极。相位调整单元从发送信号输出单元输出的发送信号产生其相位被调整的信号。振幅调整单元调整由相位调整单元调整其相位的信号的振幅以产生串扰校正信号。解调单元对通过合成串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样并且以解调采样的信号。
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公开(公告)号:CN112697176A
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN202011073288.7
申请日:2020-10-09
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供了使不必要的电力消耗最小化并改善电力效率的位移测量装置。位移测量装置包括:主标尺;以及检测头,其以相对于主标尺可相对位移的方式设置,并输出具有根据相对于所述主标尺的相对位移而改变的相位的周期信号。检测头输出作为周期信号的、具有粗周期的粗刻度信号和具有细周期的密刻度信号。粗相位检测器根据从粗刻度信号获取的两个相位信息来计算粗刻度信号的平均相位。密相位检测器根据从密刻度信号获取的四个相位信息来计算密刻度信号的平均相位。粗相位检测器根据这两个相位信息来计算粗刻度信号的平均相位,然后在没有完成密相位检测器的操作的情况下停止操作。
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公开(公告)号:CN112697176B
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN202011073288.7
申请日:2020-10-09
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供了使不必要的电力消耗最小化并改善电力效率的位移测量装置。位移测量装置包括:主标尺;以及检测头,其以相对于主标尺可相对位移的方式设置,并输出具有根据相对于所述主标尺的相对位移而改变的相位的周期信号。检测头输出作为周期信号的、具有粗周期的粗刻度信号和具有细周期的密刻度信号。粗相位检测器根据从粗刻度信号获取的两个相位信息来计算粗刻度信号的平均相位。密相位检测器根据从密刻度信号获取的四个相位信息来计算密刻度信号的平均相位。粗相位检测器根据这两个相位信息来计算粗刻度信号的平均相位,然后在没有完成密相位检测器的操作的情况下停止操作。
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公开(公告)号:CN108387167B
公开(公告)日:2021-09-21
申请号:CN201810101501.7
申请日:2018-02-01
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B7/02
Abstract: 位移检测器被配置为由布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号,以基于所接收的信号来检测检测头和标尺之间的位移。发送信号从布置在检测头中的发送电极通过布置在标尺中的耦合电极发送到接收电极。相位调整单元从发送信号输出单元输出的发送信号产生其相位被调整的信号。振幅调整单元调整由相位调整单元调整其相位的信号的振幅以产生串扰校正信号。解调单元对通过合成串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样并且以解调采样的信号。
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