公开(公告)号：CN108278957A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201711408260.2

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 坂本正洋 ,  大山良和 ,  泷泽将人 ,  竹迫康次

IPC: G01B5/20

CPC classification number: G01B5/008 ,  G01B5/20

Abstract: 本发明涉及形状测量装置和移动机构。三维测量仪(形状测量装置)具有：工作台(3(第1构件))和立柱(41(第2构件))，其在预定的移动方向上相对移动；引导面(31)，其形成于工作台(3)，并具有在移动方向上延伸且互相平行的引导区域(311)和驱动区域(312)；空气垫(11)，其形成于立柱(41)，并与引导区域(311)相对；以及驱动辊(19)，其形成于立柱(41)，并在驱动区域(312)滚动。

公开(公告)号：CN108278957B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201711408260.2

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 坂本正洋 ,  大山良和 ,  泷泽将人 ,  竹迫康次

IPC: G01B5/20

Abstract: 本发明涉及形状测量装置和移动机构。三维测量仪(形状测量装置)具有：工作台(3(第1构件))和立柱(41(第2构件))，其在预定的移动方向上相对移动；引导面(31)，其形成于工作台(3)，并具有在移动方向上延伸且互相平行的引导区域(311)和驱动区域(312)；空气垫(11)，其形成于立柱(41)，并与引导区域(311)相对；以及驱动辊(19)，其形成于立柱(41)，并在驱动区域(312)滚动。