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公开(公告)号：CN108627141B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201810238876.8
申请日：2018-03-22
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： S.A.哈西拉
IPC: G01C11/02
Abstract: 本申请公开了一种与成像系统一起使用的调制监控系统，其包括可变焦距(VFL)透镜、物镜、相机和VFL透镜控制器，该VFL透镜控制器配置为控制VFL透镜以周期性地调节其光功率，且从而在沿着Z高度方向的多个Z高度上周期性地调制成像系统的焦点位置。调制监控系统包括VFL‑穿越光源，其包括配置为通过VFL透镜沿着调制监控光路提供VFL‑穿越光的光源，以及包括光学检测器的调制信号确定部分，其配置为接收VFL‑穿越光，并且提供对应于VFL透镜的所调制的光功率的至少一个光学检测器信号。调制监控部分基于该至少一个光学检测器信号而输出至少一个调制监控信号。
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公开(公告)号：CN106989668A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611177236.8
申请日：2016-12-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 提供一种在三轴上响应的扫描探针，以用于坐标测量机。扫描探针利用复用技术以产生X、Y和Z位置信号。X和Y位置信号表示触针联接部分围绕旋转中心的旋转，且Z位置信号表示触针联接部分沿着轴向方向的位置。Z位置信号对轴向检测偏转器在横向于轴向方向的至少一个方向上的运动基本上不敏感。X、Y和Z位置信号可以被处理，以确定触针的接触部分的3D位置，其可以包括利用Z位置信号结合扫描探针的已知三角学，从X或Y位置信号中的至少一个移除轴向运动交叉耦合分量。
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公开(公告)号：CN106989668B
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201611177236.8
申请日：2016-12-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 提供一种在三轴上响应的扫描探针，以用于坐标测量机。扫描探针利用复用技术以产生X、Y和Z位置信号。X和Y位置信号表示触针联接部分围绕旋转中心的旋转，且Z位置信号表示触针联接部分沿着轴向方向的位置。Z位置信号对轴向检测偏转器在横向于轴向方向的至少一个方向上的运动基本上不敏感。X、Y和Z位置信号可以被处理，以确定触针的接触部分的3D位置，其可以包括利用Z位置信号结合扫描探针的已知三角学，从X或Y位置信号中的至少一个移除轴向运动交叉耦合分量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108627141A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810238876.8
申请日：2018-03-22
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： S.A.哈西拉
IPC: G01C11/02
CPC classification number: G02B21/245 , G02F1/33 , G02F2001/294
Abstract: 本申请公开了一种与成像系统一起使用的调制监控系统，其包括可变焦距(VFL)透镜、物镜、相机和VFL透镜控制器，该VFL透镜控制器配置为控制VFL透镜以周期性地调节其光功率，且从而在沿着Z高度方向的多个Z高度上周期性地调制成像系统的焦点位置。调制监控系统包括VFL-穿越光源，其包括配置为通过VFL透镜沿着调制监控光路提供VFL-穿越光的光源，以及包括光学检测器的调制信号确定部分，其配置为接收VFL-穿越光，并且提供对应于VFL透镜的所调制的光功率的至少一个光学检测器信号。调制监控部分基于该至少一个光学检测器信号而输出至少一个调制监控信号。
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公开(公告)号：CN116379897A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211643595.3
申请日：2022-12-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于坐标测量机的扫描探头包括：触针悬挂模块；触针位置检测模块；干扰器配置；以及信号处理和控制电路模块。该触针位置检测模块包括：传感器配置，该传感器配置包括各种线圈；以及屏蔽配置，该屏蔽配置围绕该传感器配置定位并且包括用于屏蔽该传感器配置的导电材料。该触针位置检测模块使用模块安装配置安装到该触针悬挂模块，该模块安装配置使得能够在该扫描探头的组装期间调整该传感器配置的相对位置以用于对准。
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公开(公告)号：CN116379896A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211641541.3
申请日：2022-12-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于坐标测量机的扫描探头的模块化配置包括：触针悬挂模块；触针位置检测模块；以及信号处理和控制电路模块。触针位置检测模块被配置成与触针悬挂模块分开组装，之后才安装到触针悬挂模块。信号处理和控制电路模块被配置成与触针位置检测模块和触针悬挂模块分开组装，之后才作为组装扫描探头的一部分刚性地耦接到触针位置检测模块。
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公开(公告)号：CN114688954B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111559678.X
申请日：2021-12-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了坐标测量机探头的感应式位置传感器信号增益控制。一种用于具有感应式位置传感器信号增益控制的坐标测量机的扫描探头包含具有场生成线圈和感测线圈的触针位置检测部分，并且对于所述触针位置检测部分，对应的输出信号指示触针的探头尖端的位置。信号处理和控制电路系统被配置成实施不同的操作区域，如对应于中心探头尖端位置范围的中心高增益操作区域以及其它较低增益操作区域，对于所述不同的操作区域，可以执行转变操作以调整增益。在各个实施方案中，用于调整增益的转变操作可以包含以下操作，如：调整场生成线圈配置的功率；调整前端放大器的增益；改变感测线圈的特性；调整模数转换器的输入范围等。
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公开(公告)号：CN114688954A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202111559678.X
申请日：2021-12-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了坐标测量机探头的感应式位置传感器信号增益控制。一种用于具有感应式位置传感器信号增益控制的坐标测量机的扫描探头包含具有场生成线圈和感测线圈的触针位置检测部分，并且对于所述触针位置检测部分，对应的输出信号指示触针的探头尖端的位置。信号处理和控制电路系统被配置成实施不同的操作区域，如对应于中心探头尖端位置范围的中心高增益操作区域以及其它较低增益操作区域，对于所述不同的操作区域，可以执行转变操作以调整增益。在各个实施方案中，用于调整增益的转变操作可以包含以下操作，如：调整场生成线圈配置的功率；调整前端放大器的增益；改变感测线圈的特性；调整模数转换器的输入范围等。
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