公开(公告)号：CN101390172A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200780006165.8

申请日：2007-02-08

Applicant: 株式会社堀场制作所 ,  独立行政法人物质·材料研究机构

Inventor： 中泽弘基 ,  吉川英树 ,  米哈伊·沃莱库·奥莱勒 ,  大堀谦一 ,  驹谷慎太郎 ,  大泽澄人

IPC: G21K1/02 ,  H05G1/00 ,  G21K1/06

CPC classification number: G21K1/06 ,  G21K2201/064

Abstract: 一种X射线聚焦元件及具有该X射线聚焦元件的X射线照射装置，能延长从射出侧开口端至被检查体的作动距离，而且，不论被检查体的大小如何都能对被检查体进行分析即荧光X射线分析和X射线衍射分析。X射线屏蔽构件(23)从与射入侧开口端的口径(毛细管(20)外径)大致相同口径的环形构件(232)向环形构件(23)中心设置支承X射线屏蔽构件的三根支承构件(233)，将环形构件(232)固定于毛细管(20)。环形构件(232)、支承构件(233)、X射线屏蔽构件(23)用钽、钨、钼等对X射线进行屏蔽的金属通过一体成形而形成。X射线屏蔽构件(23)的轴向尺寸(厚度)设定成足以屏蔽X射线的尺寸。

公开(公告)号：CN101981650A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980110865.0

申请日：2009-03-23

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 小野口彰 ,  大堀谦一 ,  松本浩一 ,  粟田正吾 ,  大桥聪史

IPC: H01J37/12

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明提供一种透镜性能相对不逊色于磁场型透镜的带电粒子束用静电透镜。利用设置在带电粒子的入射侧的多个电极(V1、V4)形成有第一电场区域(AR1)和第二电场区域(AR2)，所述第一电场区域(AR1)使带电粒子的轨道半径缩小，以便不会在中途超出作为入射时轨道半径的初始轨道半径，所述第二电场区域(AR2)向通过了该第一电场区域(AR1)的带电粒子提供朝向与所述中心轴平行方向前进的力，并且利用设置在出射侧的多个电极(V2、V3)形成有第三电场区域(AR3)，该第三电场区域(AR3)使带电粒子的轨道半径不会在中途超出所述初始轨道半径，且使带电粒子的轨道弯曲，并以比所述带电粒子从所述第二电场区域(AR2)出射时的相对于中心轴(m)的轨道角度大的角度，使所述带电粒子的轨道与中心轴(m)相交。

公开(公告)号：CN101390172B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200780006165.8

申请日：2007-02-08

Applicant: 株式会社堀场制作所 ,  独立行政法人物质·材料研究机构

Inventor： 中泽弘基 ,  吉川英树 ,  米哈伊·沃莱库·奥莱勒 ,  大堀谦一 ,  驹谷慎太郎 ,  大泽澄人

IPC: G21K1/02 ,  H05G1/00 ,  G21K1/06

CPC classification number: G21K1/06 ,  G21K2201/064

Abstract: 一种X射线聚焦元件及具有该X射线聚焦元件的X射线照射装置，能延长从射出侧开口端至被检查体的作动距离，而且，不论被检查体的大小如何都能对被检查体进行分析即荧光X射线分析和X射线衍射分析。X射线屏蔽构件(23)从与射入侧开口端的口径(毛细管(20)外径)大致相同口径的环形构件(232)向环形构件(23)中心设置支承X射线屏蔽构件的三根支承构件(233)，将环形构件(232)固定于毛细管(20)。环形构件(232)、支承构件(233)、X射线屏蔽构件(23)用钽、钨、钼等对X射线进行屏蔽的金属通过一体成形而形成。X射线屏蔽构件(23)的轴向尺寸(厚度)设定成足以屏蔽X射线的尺寸。

公开(公告)号：CN101981650B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN200980110865.0

申请日：2009-03-23

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 小野口彰 ,  大堀谦一 ,  松本浩一 ,  粟田正吾 ,  大桥聪史

IPC: H01J37/12

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明提供一种透镜性能相对不逊色于磁场型透镜的带电粒子束用静电透镜。利用设置在带电粒子的入射侧的多个电极(V1、V4)形成有第一电场区域(AR1)和第二电场区域(AR2)，所述第一电场区域(AR1)使带电粒子的轨道半径缩小，以便不会在中途超出作为入射时轨道半径的初始轨道半径，所述第二电场区域(AR2)向通过了该第一电场区域(AR1)的带电粒子提供朝向与所述中心轴平行方向前进的力，并且利用设置在出射侧的多个电极(V2、V3)形成有第三电场区域(AR3)，该第三电场区域(AR3)使带电粒子的轨道半径不会在中途超出所述初始轨道半径，且使带电粒子的轨道弯曲，并以比所述带电粒子从所述第二电场区域(AR2)出射时的相对于中心轴(m)的轨道角度大的角度，使所述带电粒子的轨道与中心轴(m)相交。