公开(公告)号：CN115335677A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202180024741.1

申请日：2021-03-25

Applicant: 株式会社日产ARC ,  株式会社堀场制作所

Inventor： 松本隆 ,  今井英人 ,  松本匡史 ,  安库尔·巴里安 ,  花木保成 ,  岩桂二郎 ,  广濑润 ,  畠山大

IPC: G01M99/00 ,  H01M10/44 ,  H01M10/48 ,  G01N23/02 ,  G01N23/04 ,  G01N23/20 ,  G01M17/007

Abstract: 本发明提供动态观测系统，即使在大型观测基地内观测的对象物存在各种各样的限制，也能够掌握与对象物实际被应用的环境、被组合的其它构成要素的相关关系，其具备：大型观测装置，使用量子束观测对象物；再现装置，设置在所述大型观测装置内，在用所述大型观测装置能够观测所述对象物的状态下再现对所述对象物的输入；动态观测装置，观测通过多个要素的组合而发挥功能的功能性对象物的动态；第一信息取得装置，将所述功能性对象物功能分解至与所述对象物相当的要素，取得作为对所述对象物相当要素的输入信息的第一信息；以及传递装置，将所述第一信息向所述再现装置传递，所述再现装置根据所述第一信息再现对所述对象物的输入。

公开(公告)号：CN119452227A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202380050001.4

申请日：2023-06-27

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 宫本奖平 ,  大桥聪史 ,  青山朋树 ,  广濑润

IPC: G01B15/02 ,  G01N23/087 ,  G01N23/223

Abstract: 本发明提供能够测量在现有技术中难以测量的多层试样的各层的厚度的厚度测量方法、X射线分析装置、信息处理装置以及计算机程序。在厚度测量方法中，向包含多个层的试样照射X射线，以使所述X射线透过多个所述层，检测从所述试样产生的荧光X射线，检测透过所述试样后的透过X射线，制作表示检测到的所述透过X射线的强度与各层的厚度的关系的第一关系式、以及表示与各层的厚度相应的理论上的所述荧光X射线和所述透过X射线的强度之比与检测到的所述荧光X射线和所述透过X射线的强度之比的关系的第二关系式，计算同时满足所述第一关系式以及所述第二关系式的各层的厚度。

公开(公告)号：CN119487358A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202380050002.9

申请日：2023-06-27

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 大桥聪史 ,  宫本奖平 ,  青山朋树 ,  宫坂真太郎 ,  名仓诚 ,  广濑润 ,  松永大辅

IPC: G01B15/02 ,  G01N23/087 ,  G01N23/223

Abstract: 本发明提供一种能够测量比以往更多的多层试样的厚度的厚度测量方法、X射线分析装置、信息处理装置以及计算机程序。在厚度测量方法中，向包括层叠的第一层以及第二层的试样以X射线按所述第一层、所述第二层的顺序透过的方式照射所述X射线，检测从所述第一层产生的荧光X射线，检测透过所述试样后的透过X射线，通过基于所述荧光X射线的元素分析，确定所述第一层中的X射线的吸收系数以及所述第一层的密度，基于所述透过X射线的不同的两个能量下的强度、所述吸收系数以及所述密度，计算所述第一层的厚度。