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公开(公告)号：CN102589959B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201210007970.5
申请日：2012-01-11
Applicant: 株式会社堀场制作所
IPC: G01N1/38
CPC classification number: G01N1/2252 , G01N1/2202 , G01N15/065 , G01N33/005 , G01N2001/2264 , Y10T137/2499
Abstract: 本发明为一种临界节流孔型定流量器(CFO1)的特性测定方法，其适用于稀释机构(3)，该稀释机构由串联的稀释单元(31)(32)构成，该特性测定方法尽可能地将用于多段稀释机构的临界节流孔型定流量器的特性测定时的状态接近于使用时的状态，以减少稀释率的误差，对于导出一个稀释单元(31)的剩余的气体的导出流路(E1)，使得稀释单元(31)的稀释用气体和其他稀释单元(32)的稀释用气体的合计流量等于所述一定流量，且使得来自稀释单元(31)的稀释用气体的流量与使用时流量相等，并基于此时的设于该导出流路(E1)的临界节流孔型定流量器(CFO1)的至少上游侧的压力，测定该临界节流孔型定流量器(CFO1)的流量特性。
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公开(公告)号：CN102362167A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013089.5
申请日：2010-04-02
Applicant: 株式会社堀场制作所
CPC classification number: G01N1/2252 , G01N2001/2264 , G01N2015/0675
Abstract: 根据本发明，可以使粒子数测量系统的构成简单化以及紧凑化的同时，还可以削减成本。本发明的粒子数测量系统包括：设在主流路(ML)和稀释气体流路(DL)的连接点的稀释器(PND2)；对导入到稀释器(PND2)的稀释气体流量进行控制的稀释气体流量控制部(MFC3)；对被稀释的排除气体中的固体粒子数进行测量的粒子数测量装置(2)；从主流路的稀释器(PND2)和粒子数测量装置(2)之间分出、设有定流量器(CFO3)的旁流路(BL3)；连接于主流路(ML)旁流路(BL3)的合流点下游的吸引泵(P)；根据由稀释气体流量控制部(MFC3)控制的稀释气体流量(Q1)、粒子数测量装置(2)的装置流量(Q2)与定流量器(CFO3)的设定流量(Q3)的合计流量，计算出排除气体的稀释率的信息处理装置(4)。
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公开(公告)号：CN102362167B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201080013089.5
申请日：2010-04-02
Applicant: 株式会社堀场制作所
CPC classification number: G01N1/2252 , G01N2001/2264 , G01N2015/0675
Abstract: 根据本发明，可以使粒子数测量系统的构成简单化以及紧凑化的同时，还可以削减成本。本发明的粒子数测量系统包括：设在主流路(ML)和稀释气体流路(DL)的连接点的稀释器(PND2)；对导入到稀释器(PND2)的稀释气体流量进行控制的稀释气体流量控制部(MFC3)；对被稀释的排除气体中的固体粒子数进行测量的粒子数测量装置(2)；从主流路的稀释器(PND2)和粒子数测量装置(2)之间分出、设有定流量器(CFO3)的旁流路(BL3)；连接于主流路(ML)旁流路(BL3)的合流点下游的吸引泵(P)；根据由稀释气体流量控制部(MFC3)控制的稀释气体流量(Q1)、粒子数测量装置(2)的装置流量(Q2)与定流量器(CFO3)的设定流量(Q3)的合计流量，计算出排除气体的稀释率的信息处理装置(4)。
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公开(公告)号：CN102589959A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210007970.5
申请日：2012-01-11
Applicant: 株式会社堀场制作所
IPC: G01N1/38
CPC classification number: G01N1/2252 , G01N1/2202 , G01N15/065 , G01N33/005 , G01N2001/2264 , Y10T137/2499
Abstract: 本发明为一种临界节流孔型定流量器(CFO1)的特性测定方法，其适用于稀释机构(3)，该稀释机构由串联的稀释单元(31)(32)构成，该特性测定方法尽可能地将用于多段稀释机构的临界节流孔型定流量器的特性测定时的状态接近于使用时的状态，以减少稀释率的误差，对于导出一个稀释单元(31)的剩余的气体的导出流路(E1)，使得稀释单元(31)的稀释用气体和其他稀释单元(32)的稀释用气体的合计流量等于所述一定流量，且使得来自稀释单元(31)的稀释用气体的流量与使用时流量相等，并基于此时的设于该导出流路(E1)的临界节流孔型定流量器(CFO1)的至少上游侧的压力，测定该临界节流孔型定流量器(CFO1)的流量特性。
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