公开(公告)号：CN101846643A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010139131.X

申请日：2010-03-19

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 松滨诚 ,  世古朋子 ,  高田秀次 ,  水谷浩 ,  生田卓司 ,  远藤正彦 ,  井户琢也

IPC: G01N25/18 ,  G01N27/18

CPC classification number: G01N25/18 ,  G01N30/66

Abstract: 本发明的导热系数传感器实现了小型化，尽可能地抑制了周围温度的影响，减小了因封入参照气体等造成的制造误差，并且增大检测信号提高测量灵敏度。所述导热系数传感器(100)使用惠斯登电桥电路(WB)，所述惠斯登电桥电路(WB)包括：测量用电阻(R1、R2)，配置在一组对边上，与试样气体接触；以及比较用电阻(R3、R4)，配置在另一组对边上，与参照气体接触；通过对比较用电阻(R3、R4)和测量用电阻(R1、R2)的连接点的电位差进行比较，来检测试样气体的导热系数，其中，配置在一组对边上的测量用电阻(R1、R2)收容在一个测量空间(S1)内，配置在另一组对边上的比较用电阻(R3、R4)收容在一个参照空间(S2)内。