公开(公告)号：CN101405599B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200780009949.6

申请日：2007-03-09

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 池田享 ,  青木润次 ,  泷尻兴太郎

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/26

CPC classification number: G01N27/62 ,  H01J49/00

Abstract: 一种残留气体分析仪，对于半导体装置等狭窄场所也能够合适配置进行计量测定，且在无外部PC机的情况下能够进行从计量测定直至显示计量测定结果。其包括由检测残留气体的传感部(11)构成的传感器单元(1)以及装置本体(2)，该装置本体包括受操作以控制所述传感部(11)的操作部、根据所述传感部(11)的输出而对残留气体进行分析处理的残留气体分析处理部、以及对残留气体分析处理部的分析处理结果进行图像显示的分析处理结果图像显示部，获取将所述传感器单元(1)安装后的安装状态(P1)或将其脱离后的脱离状态(P2)。

公开(公告)号：CN101405599A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200780009949.6

申请日：2007-03-09

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 池田享 ,  青木润次 ,  泷尻兴太郎

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/26

CPC classification number: G01N27/62 ,  H01J49/00

Abstract: 一种残留气体分析仪，对于半导体装置等狭窄场所也能够合适配置进行计量测定，且在无外部PC机的情况下能够进行从计量测定直至显示计量测定结果。其包括由检测残留气体的传感部(11)构成的传感器单元(1)以及装置本体(2)，该装置本体包括受操作以控制所述传感部(11)的操作部、根据所述传感部(11)的输出而对残留气体进行分析处理的残留气体分析处理部、以及对残留气体分析处理部的分析处理结果进行图像显示的分析处理结果图像显示部，获取将所述传感器单元(1)安装后的安装状态(P1)或将其脱离后的脱离状态(P2)。

公开(公告)号：CN300715252D

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200630165588.2

申请日：2006-12-29

Applicant: 株式会社堀场STEC

Designer： 池田享 ,  青木润次 ,  泽田喜行