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公开(公告)号:CN111660303B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202010147083.2
申请日:2020-03-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 内部压力调整系统、机器人系统及内部压力调整方法。一种内部压力调整系统(3)包括向机器人(2)的容纳空间(51)供应非可燃气体的供气管线(100)、从容纳空间(51)排出气体的排气管线(300)以及气压驱动型开关阀(410),该开关阀(410)根据供气压力在打开排气管线(300)和关闭排气管线(300)之间切换,使得排气管线(300)响应于供气压力的增加而打开,并且排气管线(300)响应于供气压力的减小而关闭。
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公开(公告)号:CN111660303A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN202010147083.2
申请日:2020-03-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 内部压力调整系统、机器人系统及内部压力调整方法。一种内部压力调整系统(3)包括向机器人(2)的容纳空间(51)供应非可燃气体的供气管线(100)、从容纳空间(51)排出气体的排气管线(300)以及气压驱动型开关阀(410),该开关阀(410)根据供气压力在打开排气管线(300)和关闭排气管线(300)之间切换,使得排气管线(300)响应于供气压力的增加而打开,并且排气管线(300)响应于供气压力的减小而关闭。
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