公开(公告)号：CN104275702A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410321225.7

申请日：2014-07-07

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 进大介 ,  纸上真智子 ,  安藤隆治

IPC: B25J15/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: B25J15/0616 ,  B25J15/0683 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/6838 ,  Y10S901/40

Abstract: 本发明涉及一种吸附结构、机器人手和机器人。一种吸附结构包括吸盘和固定基座。所述吸盘包括：接触部，与将被吸附的目标物体接触并具有密封壁；以及主表面部，所述主表面部被接触部包围，并且由于接触部与目标物体接触，主表面部与密封壁一起限定内部空间。固定基座包括：支承部，在偏离吸盘的主表面部的中心的位置处支承吸盘；以及抽吸孔，设置为使内部空间与真空源连通。

公开(公告)号：CN104176500B

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201410129367.3

申请日：2014-04-01

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  进大介

IPC: B65G49/06 ,  B65G47/90 ,  B25J9/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/90 ,  B25J9/042 ,  B25J9/1679 ,  G05B2219/40087 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67766 ,  Y10S901/02

Abstract: 本发明提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。

公开(公告)号：CN103247556B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201310016890.0

申请日：2013-01-17

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古市昌稔 ,  日野一纪 ,  进大介

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67739 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明涉及搬运装置。根据实施方式一方面的搬运装置包括：搬运室；机器人，所述机器人设置在所述搬运室中的一个长侧壁附近；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动。所述机器人的臂被限定具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一个长侧壁干涉。所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达设置于长侧壁中的多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

公开(公告)号：CN104176500A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410129367.3

申请日：2014-04-01

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  进大介

IPC: B65G49/06 ,  B65G47/90 ,  B25J9/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/90 ,  B25J9/042 ,  B25J9/1679 ,  G05B2219/40087 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67766 ,  Y10S901/02

Abstract: 本发明提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。

公开(公告)号：CN103247556A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310016890.0

申请日：2013-01-17

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古市昌稔 ,  日野一纪 ,  进大介

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67739 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明涉及搬运装置。根据实施方式一方面的搬运装置包括：搬运室；机器人，所述机器人设置在所述搬运室中的一个长侧壁附近；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动。所述机器人的臂被限定具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一个长侧壁干涉。所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达设置于长侧壁中的多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

公开(公告)号：CN103227133A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310020746.4

申请日：2013-01-21

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 进大介 ,  木村吉希

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/677 ,  B25J9/02 ,  B25J9/042 ,  G05B2219/39082 ,  G05B2219/45032 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67772 ,  Y10S901/40 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/5337 ,  Y10T29/53435

Abstract: 本发明提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括传送室、机器人、轨迹生成器、确定单元以及输出单元。所述传送室具有以预定距离限定的专用区。所述机器人具有臂单元，该臂单元装备有传送薄板状工件的机器人手并且在水平方向上操作。所述机器人安装在所述传送室中，使得所述臂单元的最小旋回区与所述专用区的一部分重叠。所述传送系统生成所述机器人手的轨迹，然后基于所生成的轨迹确定所述臂单元的一部分是否包括在所述专用区中，并输出预定信号。