机器人
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103240732B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201210592401.1

    申请日:2012-12-31

    CPC classification number: B25J18/04 B25J9/043 B25J9/104 B25J9/1045 B25J19/0066

    Abstract: 本发明涉及一种机器人。所述机器人包括:臂,所述臂具有基端部和末端部,所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装,输出轴安装在所述末端部中;以及驱动机构,所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴。所述驱动机构包括:具有马达轴的马达;附接到所述马达轴的驱动带轮;附接到所述输出轴的从动带轮;至少一个中间带轮,所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间;以及多个带,所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。

    搬运装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103247556A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201310016890.0

    申请日:2013-01-17

    CPC classification number: H01L21/67739 H01L21/67742 H01L21/67766

    Abstract: 本发明涉及搬运装置。根据实施方式一方面的搬运装置包括:搬运室;机器人,所述机器人设置在所述搬运室中的一个长侧壁附近;以及线性移动机构,所述线性移动机构具有轨道,所述机器人沿所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动。所述机器人的臂被限定具有如下长度,该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一个长侧壁干涉。所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度,该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达设置于长侧壁中的多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

    传送系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103227132A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201210574403.8

    申请日:2012-12-26

    Abstract: 本发明提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括机器人和控制器。所述控制器包括切换单元。所述机器人包括臂单元和底座单元,所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成。后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元,并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂。所述切换单元切换圆柱坐标控制和直角坐标控制,所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元,以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠,并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元,以使得所述手的轨迹在预定的时刻与这些线都不重叠。

    齿轮单元和机器人
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103016629A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210361067.9

    申请日:2012-09-25

    Abstract: 本发明涉及齿轮单元和机器人。该齿轮单元包括:内轴和外轴,所述内轴和所述外轴同心布置以组成两个同心的输出轴;以及第一输入轴和第二输入轴,所述第一输入轴和所述第二输入轴沿正交于所述输出轴的方向延伸并且分别操作地连接到所述内轴和所述外轴。所述内轴包括附接到其上的内齿轮并且所述外轴包括附接到其上的外齿轮。所述内齿轮和所述外齿轮布置成处于相互对置关系。所述第一输入轴和所述第二输入轴沿着所述输出轴的轴向方向彼此间隔开特定距离。所述第一输入轴包括与所述内齿轮啮合的第一输入齿轮,所述第二输入轴包括与所述外齿轮啮合的第二输入齿轮。

    搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块

    公开(公告)号:CN103448055B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201210544862.1

    申请日:2012-12-14

    CPC classification number: H01L21/67748 H01L21/67742 Y10S901/49

    Abstract: 本发明涉及搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块。根据实施方式的搬运机器人包括:臂单元、基部单元、引导单元、升降单元和通风部。所述臂单元包括机器人手,所述机器人手能够保持待被搬运的物体。所述基部单元形成为大体盒形形状。所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴。所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元。所述通风部在所述基部单元的上表面中开口,并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。

    传送机器人
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103227131B

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201210553485.8

    申请日:2012-12-19

    Inventor: 古市昌稔

    Abstract: 本发明提供一种传送机器人。该传送机器人包括臂和本体。所述臂在末端设有用于传送薄板状工件的机器人手,并且所述臂在水平方向上操作。所述本体包括使所述臂升降的升降机构。在所述传送机器人中,所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外,所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室,所述开闭装置用来开闭用于储存所述薄板状工件的储存容器。

    传动机构、基板定位装置和机器人

    公开(公告)号:CN103227130A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201210441525.X

    申请日:2012-11-07

    Inventor: 古市昌稔

    CPC classification number: B25J18/04 H01L21/68 H01L21/681 H01L21/68707

    Abstract: 本发明涉及传动机构、基板定位装置和机器人。所述传动机构包括:驱动带轮,所述驱动带轮设置在驱动轴上并且包括具有预定的节宽的外部齿;从动带轮,所述从动带轮设置在从动轴上并且包括具有所述节宽的外部齿;以及带,所述带包括具有所述节宽的内部齿,所述内部齿与所述驱动带轮和所述从动带轮的所述外部齿啮合。此外,所述带包括具有周期性变化特征的子带,在所述周期性变化特征中,所述节宽周期性地变化,并且这些子带被设置在其周期性变化特征的相位彼此移位的状态。

    搬运装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103247556B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201310016890.0

    申请日:2013-01-17

    CPC classification number: H01L21/67739 H01L21/67742 H01L21/67766

    Abstract: 本发明涉及搬运装置。根据实施方式一方面的搬运装置包括:搬运室;机器人,所述机器人设置在所述搬运室中的一个长侧壁附近;以及线性移动机构,所述线性移动机构具有轨道,所述机器人沿所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动。所述机器人的臂被限定具有如下长度,该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一个长侧壁干涉。所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度,该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达设置于长侧壁中的多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

    吸盘、机器人手及机器人
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104875212A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201510092095.9

    申请日:2015-02-28

    Abstract: 本发明涉及一种即使在产生弯曲的情况下,也切实地吸附基板的吸盘、机器人手及机器人。实施方式涉及的吸盘具有盘部、固定部与支承部。上述盘部对对象物体进行吸附并保持,且作为具有周缘部的上述盘部,在所述周缘部中在通过所述盘部的中心的直线上隔着所述中心而设置有所述第一以及第二连接端部。上述固定部在从所述盘部分离的位置隔着该盘部相对而设置,并具有固定所述盘部的第一和第二固定部。支承部具有:第一支承部,其具有比所述盘部与所述第一固定部之间的分离距离还长的延伸长度,并将第一连接端部和第一固定部之间连结;第二支承部,其具有比盘部与第二固定部之间的分离距离还长的延伸长度,并将第二连接端部和第二固定部之间连结。

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