公开(公告)号：CN117798899A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202311226162.2

申请日：2023-09-21

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 长渕皓二 ,  东桂介 ,  南孝

IPC: B25J9/16 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  B25J9/04

Abstract: 提供搬运系统以及搬运方法。即使在基板的挠曲较大的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的搬运系统具有：机器人，其相对于多层地收纳基板的盒进行上述基板的搬入搬出；以及控制器，其对上述机器人的动作进行控制。上述机器人具有：手，其搬运上述基板；水平移动机构，其使上述手在上述盒的正面的宽度方向上移动；以及升降机构，其使上述手升降。上述手在与上述盒对置的末端侧具有检测对象物的反射型传感器。上述控制器以使与收纳于上述盒的上述基板对置的上述反射型传感器在该基板的宽度方向上进行扫描的方式使上述水平移动机构动作，由此使上述反射型传感器进行水平扫描。

公开(公告)号：CN118116851A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202311531538.0

申请日：2023-11-16

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 实政泰树 ,  长渕皓二 ,  南孝

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

Abstract: 基板搬运机器人系统以及基板搬运机器人的示教方法，实现基板的搬入搬出中的示教作业的高效化和高精度化。基板搬运机器人系统对搬运基板的基板搬运机器人示教基板的搬运位置。基板搬运机器人具有：手，其搬运基板；动作机构，其使手在水平和上下方向上动作；设置于手的、分别向水平方向和上下方向照射扫描线的第1和第2传感器，基板搬运机器人系统具有：控制器，其控制手和动作机构；第1和第2被检测部，它们相对于搬运位置的位置和彼此的位置关系是已知的。控制器使手动作，由此通过第1和第2传感器检测第1被检测部，通过第2传感器检测第2被检测部，控制器根据检测到第1和第2被检测部时的手的位置信息，计算搬运位置并存储。

公开(公告)号：CN118990471A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202410586503.5

申请日：2024-05-13

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 长渕皓二 ,  垂野真 ,  实政泰树 ,  南孝

IPC: B25J9/16 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  B25J11/00 ,  B25J18/00 ,  B65G47/91

Abstract: 提供基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法，实现搬运作业的稳定化。本公开的一个方面的基板搬运机器人具备支承基板的手部和使手部动作的臂。手部具有：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部以及摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。

公开(公告)号：CN118514057A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410177363.6

申请日：2024-02-08

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 长渕皓二 ,  实政泰树 ,  南孝

IPC: B25J9/00 ,  B25J19/02 ,  B25J9/16

Abstract: 机器人系统、校准工具以及校准方法，能够容易地进行校准。机器人系统(1)具有：机器人(2)，其通过手(10)支承并搬运基板(W)；目标(320、420)，其能够代替基板(W)进行配置；传感器(60)，其设置于手(10)，与目标(320、420)对置且非接触地检测目标(320、420)；第1检测部(113)，其基于沿着第1方向与目标(320、420)对置的传感器(60)的检测结果和传感器(60)的位置，检测目标(320、420)在第1方向上的位置；以及第2检测部(114)，其以使传感器(60)沿着与第1方向垂直的第2方向移动的方式控制机器人(2)，基于沿着第2方向的移动引起的传感器(60)的检测结果的变化和传感器(60)的位置，检测目标(320、420)在第2方向上的位置。