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公开(公告)号：CN103240732A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201210592401.1
申请日：2012-12-31
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J18/04 , B25J9/043 , B25J9/104 , B25J9/1045 , B25J19/0066
Abstract: 本发明涉及一种机器人。所述机器人包括：臂，所述臂具有基端部和末端部，所述基端部借助关节部以可旋转的方式安装，输出轴安装在所述末端部中；以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述臂内并且构造成以减小的速度来驱动所述输出轴。所述驱动机构包括：具有马达轴的马达；附接到所述马达轴的驱动带轮；附接到所述输出轴的从动带轮；至少一个中间带轮，所述中间带轮设置在所述驱动带轮和所述从动带轮之间；以及多个带，所述多个带用于通过所述中间带轮将所述驱动带轮和所述从动带轮操作地互连。
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公开(公告)号：CN119567232A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411241935.9
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人以及系统。机器人具备：第一基部；第一可动部，其具有能够以第一旋转轴为中心在垂直面内旋转的第一臂和能够以第二旋转轴为中心在垂直面内旋转的第二臂；第二可动部，其具有能够以第三旋转轴为中心在垂直面内旋转的第二基部、能够以第四旋转轴为中心旋转的第三臂和能够以第五旋转轴为中心旋转且保持晶片的手部；以及控制部，其以搬运由手部保持的晶片的方式控制第一可动部及第二可动部，搬运晶片时的第一可动部的轨迹在与垂直面垂直的方向上的宽度容纳于被搬运的晶片的轨迹在与垂直面垂直的方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN118116851A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311531538.0
申请日：2023-11-16
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677 , H01L21/66
Abstract: 基板搬运机器人系统以及基板搬运机器人的示教方法，实现基板的搬入搬出中的示教作业的高效化和高精度化。基板搬运机器人系统对搬运基板的基板搬运机器人示教基板的搬运位置。基板搬运机器人具有：手，其搬运基板；动作机构，其使手在水平和上下方向上动作；设置于手的、分别向水平方向和上下方向照射扫描线的第1和第2传感器，基板搬运机器人系统具有：控制器，其控制手和动作机构；第1和第2被检测部，它们相对于搬运位置的位置和彼此的位置关系是已知的。控制器使手动作，由此通过第1和第2传感器检测第1被检测部，通过第2传感器检测第2被检测部，控制器根据检测到第1和第2被检测部时的手的位置信息，计算搬运位置并存储。
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公开(公告)号：CN118990471A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410586503.5
申请日：2024-05-13
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/16 , H01L21/677 , H01L21/683 , B25J11/00 , B25J18/00 , B65G47/91
Abstract: 提供基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法，实现搬运作业的稳定化。本公开的一个方面的基板搬运机器人具备支承基板的手部和使手部动作的臂。手部具有：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部以及摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。
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公开(公告)号：CN118514057A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410177363.6
申请日：2024-02-08
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人系统、校准工具以及校准方法，能够容易地进行校准。机器人系统(1)具有：机器人(2)，其通过手(10)支承并搬运基板(W)；目标(320、420)，其能够代替基板(W)进行配置；传感器(60)，其设置于手(10)，与目标(320、420)对置且非接触地检测目标(320、420)；第1检测部(113)，其基于沿着第1方向与目标(320、420)对置的传感器(60)的检测结果和传感器(60)的位置，检测目标(320、420)在第1方向上的位置；以及第2检测部(114)，其以使传感器(60)沿着与第1方向垂直的第2方向移动的方式控制机器人(2)，基于沿着第2方向的移动引起的传感器(60)的检测结果的变化和传感器(60)的位置，检测目标(320、420)在第2方向上的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118136563A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311531357.8
申请日：2023-11-16
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677 , H01L21/66
Abstract: 基板搬运装置以及基板搬运方法，即使在基板的状态发生了变化的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的基板搬运装置相对于在上下方向上多层地收纳基板的盒搬入搬出上述基板，其中，该基板搬运装置具有：手，其搬运上述基板；动作机构，其使上述手动作；控制器，其对上述动作机构进行控制；以及第1检测部，其能够检测上述基板。上述控制器具有偏移量变更部，上述偏移量变更部根据由上述第1检测部检测出的上述基板的厚度或挠曲量，对上述手相对于上述盒搬入搬出上述基板时的、使上述手相对于上述盒的基板支承高度上下动作的偏移量进行变更。
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公开(公告)号：CN117124355A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310591697.3
申请日：2023-05-24
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 搬运机器人以及机器人系统，实现臂的小型化。搬运机器人具有多个手、多个手驱动电机和1个臂。多个手能够保持被搬运物，在1个旋转轴上分别旋转。多个手驱动电机在沿着旋转轴的方向上，以电机轴与旋转轴同心的方式排列配置，分别直接驱动多个手，电机轴与多个手分别连接。1个臂内置多个手驱动电机。
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公开(公告)号：CN119567310A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411239970.7
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供机器人、系统、控制方法以及计算机程序产品。机器人配置于框体，该机器人具备：第一可动部；第二可动部，其具有保持晶片的手部；以及控制部，其以如下方式控制第一可动部和第二可动部：在由手部保持着的晶片容纳于动作区域内的状态下搬运晶片，并且，在手部与水平面平行的状态下使手部进入正面壁的开口部，其中，动作区域以不与开闭区域重叠的方式定义于正面壁与背面壁之间的空间，所述开闭区域是供设置于与正面壁的开口部对应的位置的盒开启器对盒进行开闭的区域。
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公开(公告)号：CN119567309A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411239968.X
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人、系统、控制方法以及计算机程序产品。机器人配置于框体，该框体具有：正面壁，其具有用于进入保存晶片的盒的多个开口部；及背面壁，其与正面壁对置且具有开口部，该机器人具备：第一可动部；第二可动部，其具有第三臂和手部；信息保存部，其保存协调动作关联信息；协调动作选择部，其基于由手部进入的进入对象的位置和保存于信息保存部的协调动作关联信息，选择是通过第三臂和手部的协调动作使手部进入进入对象、还是通过第三臂、手部及第一可动部的协调动作使手部进入进入对象；以及控制部，其以如下方式控制第一可动部和第二可动部：通过由协调动作选择部选择的机器人的协调动作，在手部与水平面平行的状态下使手部进入进入对象。
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公开(公告)号：CN119567282A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411239168.8
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供系统以及机器人。系统具备：框体，其具有正面壁和与正面壁对置的背面壁，所述正面壁包括用于进入保存晶片的盒的多个开口部；以及机器人，其配置于框体，机器人具有：第一基部；第一可动部；第二可动部，其具有保持晶片的手部；以及控制部，其以如下方式控制第一可动部和第二可动部：在手部与水平面平行的状态下使手部进入多个开口部中的各个开口部，多个开口部位于手部的最大可进入区域内，所述最大可进入区域基于机器人配置于框体的位置、使第一可动部最大地伸长的状态下的第一可动部的长度、以及使第二可动部最大地伸长的状态下的第二可动部的长度来确定。
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