公开(公告)号：CN116066596A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211335159.X

申请日：2022-10-28

Applicant: 株式会社开滋SCT

Inventor： 堀口肇

IPC: F16K7/14 ,  F16K31/122 ,  F16K31/44 ,  F16K31/60 ,  F16K27/00

Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置用阀，其防止阀座的扩径，维持整体的紧凑性，且能够发挥为了防止高压流体的泄漏所必要的推力，确保闭阀时的密封性，且防止对于阀座的过大的面压来提高耐久性，耐腐蚀性优异。通过在阀主体处(1)设置的隔膜(6)和阀座(7)的接触和分离来开闭。在阀主体处，设置推压隔膜来闭阀的开闭机构(8)，在该开闭机构的内部配置载荷分散部件(10)。载荷分散部件相对于阀座被以并列状态配置，且被以开阀状态时开闭机构的连续设置部位和载荷分散部件具有既定的间隙(X1)的状态配置，设置成维持开闭机构产生的推力的同时借助阀座和载荷分散部件将闭阀时必要的紧固载荷分散来承接的双重化构造。

公开(公告)号：CN109899555A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201811494543.8

申请日：2018-12-07

Applicant: 株式会社开滋SCT

Inventor： 堀口肇

IPC: F16K7/12 ,  F16K7/17

Abstract: 本发明目的是提供一种在高温条件下使用、对于许多次的动作也能够发挥较高的耐久性并且能够实现CV值的稳定性的流体控制阀和流体控制阀的组装方法。一种流体控制阀，是具备环状阀座和隔膜的阀，所述环状阀座设置在具有流入口和流出口的阀身内，所述隔膜对置于该环状阀座且在致动器用杆或手动用杆的升降运动下抵接离开，在作为环状阀座的上部面的隔膜的接离面上，形成有沿着环状阀座的向心方向的锥面。

公开(公告)号：CN109899555B

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN201811494543.8

申请日：2018-12-07

Applicant: 株式会社开滋SCT

Inventor： 堀口肇

IPC: F16K7/12 ,  F16K7/17

Abstract: 本发明目的是提供一种在高温条件下使用、对于许多次的动作也能够发挥较高的耐久性并且能够实现CV值的稳定性的流体控制阀和流体控制阀的组装方法。一种流体控制阀，是具备环状阀座和隔膜的阀，所述环状阀座设置在具有流入口和流出口的阀身内，所述隔膜对置于该环状阀座且在致动器用杆或手动用杆的升降运动下抵接离开，在作为环状阀座的上部面的隔膜的接离面上，形成有沿着环状阀座的向心方向的锥面。