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公开(公告)号：CN109477587B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201780046535.4
申请日：2017-08-17
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 高朝克图
IPC: F16K7/12
Abstract: 提供能够在避免因阀座的直径增大、冲程的增大等而导致的阀的大型化的同时、切实增大阀流量、而且还能够维持甚至提高阀的耐久性·寿命的简易且最优地构成的膜片阀和半导体制造装置用流量控制设备。即，本发明的膜片阀在具有流入流路和流出流路的主体的阀室中，具有挤压外周周围的膜片和阀座座部，将该膜片设置为通过阀杆的升降移动来自由地开关阀室，该膜片的形态呈具有近似平面状的中央区域、和比中央区域靠外周侧且曲率半径小的边界区域的截面近似扁平形状，边界区域位于阀座座部的外周侧附近。
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公开(公告)号：CN111868430A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201880091836.3
申请日：2018-12-18
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 木暮悠策
IPC: F16L19/00
Abstract: 目的是提供一种锁定装置，所述锁定装置适合于原料容器等的配管和阀的接头部，能够可靠地防止接头的松动和误操作，而且是简单的零件结构，使用方便性也非常良好，并且由于在向将接头增加拧紧的朝向赋予力的同时被固定，所以其稳定性也颇为良好。为了实现由被螺入部件（20）和螺入部件（21）侧构成的接头部（4）的松动防止而设置，具备安装于被螺入部件（20）侧的增加拧紧用的夹钳部件（42）、安装于螺入部件（21）侧的定位固定用的夹钳部件（41）、和用来将这两个夹钳部件（41、42）紧固的螺纹部件（43）。通过将两个夹钳部件（41、42）用螺纹部件（43）紧固，一边向将螺入部件（21）侧增加拧紧的朝向赋予力一边被固定于接头部（4）。
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公开(公告)号：CN109477587A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780046535.4
申请日：2017-08-17
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 高朝克图
IPC: F16K7/12
Abstract: 提供能够在避免因阀座的直径增大、冲程的增大等而导致的阀的大型化的同时、切实增大阀流量、而且还能够维持甚至提高阀的耐久性·寿命的简易且最优地构成的膜片阀和半导体制造装置用流量控制设备。即，本发明的膜片阀在具有流入流路和流出流路的主体的阀室中，具有挤压外周周围的膜片和阀座座部，将该膜片设置为通过阀杆的升降移动来自由地开关阀室，该膜片的形态呈具有近似平面状的中央区域、和比中央区域靠外周侧且曲率半径小的边界区域的截面近似扁平形状，边界区域位于阀座座部的外周侧附近。
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公开(公告)号：CN109424762A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811013655.7
申请日：2018-08-31
Applicant: 株式会社开滋SCT
IPC: F16K7/12 , F16K31/124 , F16K31/06
Abstract: 本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门，以能够对任意的促动器及电磁阀容易适用或解除该适用，并且整体极为简单地构成，并且不损害促动器的紧凑性而容易在任意侧面周方向位置自由拆装电磁阀。促动器用电磁阀的安装构造具备：设置在圆筒型促动器的下部的基座体；以及从促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，该安装构件具有以延伸设置在促动器主体的靠近侧面位置的状态形成的固定部、和安装在该固定部的流体控制用的电磁阀，固定该电磁阀的安装构件设置成能够围绕促动器主体的侧面转动。
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公开(公告)号：CN104870872B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380066772.9
申请日：2013-11-07
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 山田靖仁
IPC: F16K1/226 , F16K1/228 , F16K31/524 , F16K31/54 , F16K51/02
Abstract: 使座环(12)与阀芯(11)接触分离，从而在流路本发明提供一种蝶式压力控制阀，其适合于 (4)内进行压力控制，并且阀开闭机构(10)设置在真空区域内进行压力控制的情况，通过来自相 为能够由相同驱动源进行驱动。同驱动源的动力发挥高密封性并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，以简单的构造实现了小型化。本发明中，阀开闭机构上旋转；座环(12)，其能够在流路(4)方向上往复运动而与阀芯(11)接触分离；凸轮机构(13)，其用于使座环(12)从阀芯(11)分离且使阀芯(11)旋转；以及往复运动机构(14)，其用于使座环(12)在阀芯(11)方向上往复运动，该阀开闭机构(10)通过凸轮机构(13)使座环(12)分离并且使(10)具有：阀芯(11)，其在与流路(4)垂直的方向
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公开(公告)号：CN116066596A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211335159.X
申请日：2022-10-28
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 堀口肇
IPC: F16K7/14 , F16K31/122 , F16K31/44 , F16K31/60 , F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置用阀，其防止阀座的扩径，维持整体的紧凑性，且能够发挥为了防止高压流体的泄漏所必要的推力，确保闭阀时的密封性，且防止对于阀座的过大的面压来提高耐久性，耐腐蚀性优异。通过在阀主体处(1)设置的隔膜(6)和阀座(7)的接触和分离来开闭。在阀主体处，设置推压隔膜来闭阀的开闭机构(8)，在该开闭机构的内部配置载荷分散部件(10)。载荷分散部件相对于阀座被以并列状态配置，且被以开阀状态时开闭机构的连续设置部位和载荷分散部件具有既定的间隙(X1)的状态配置，设置成维持开闭机构产生的推力的同时借助阀座和载荷分散部件将闭阀时必要的紧固载荷分散来承接的双重化构造。
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公开(公告)号：CN109555874B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201811122887.6
申请日：2018-09-26
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 饭冢久修
Abstract: 本发明的目的在于在隔膜的组装时通过隔膜的扭转防止将由于隔膜的扭转产生的各种各样的不利影响完全排除。本发明是一种隔膜阀的组装方法，通过经由下述工序防止组装时的隔膜的扭转，前述工序为：将推压隔膜的外周的阀盖插入具有设置于阀室的阀座和配置于其上方的隔膜的主体内的工序、将紧固螺母与主体的开口部螺纹接合来插入阀盖的外周的工序、将从紧固螺母的贯通孔插入的防转夹具和阀盖经由固定机构固定的工序、经由固定夹具将主体和防转夹具固定且阀盖在非旋转状态下将紧固螺母紧固来借助阀盖将隔膜的外部密封部夹持的工序。
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公开(公告)号：CN108692062B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201810272832.7
申请日：2018-03-29
Applicant: 株式会社开滋SCT
Abstract: 本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀，其仅用很简单的构造，即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后，也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动，并且还具备较高的耐久性，很适合用于ALD工艺。技术方案是一种金属隔膜阀，具有：阀身，在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座；金属隔膜，配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接；阀杆，升降运动自如地设在该金属隔膜的上方，使金属隔膜的中央部向下方下降；在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。
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公开(公告)号：CN111720621A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010195798.5
申请日：2020-03-19
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 饭岛和夫
Abstract: 本申请的课题在于提供一种真空波纹管热阀，其为简洁且紧凑的构成，且对于加热手段的高温化、高电压化，不会损失耐久性、驱动性，而且还实现高精度的阀的调温。在具有流入口和流出口的阀箱内以升降移动自如的方式设有杆，在该杆的下端设置的阀体和杆的外周侧以伸缩自如的方式设置波纹管，在该波纹管的内周和杆的外周之间配置圆筒状的陶瓷加热器，并且在阀体的附近位置配置控制用热电偶的测温部。
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公开(公告)号：CN108692062A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810272832.7
申请日：2018-03-29
Applicant: 株式会社开滋SCT
CPC classification number: F16K7/17 , F16K1/523 , F16K31/1221 , F16K31/1225 , F16K31/1226 , F16K27/0236 , F16K47/08
Abstract: 本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀，其仅用很简单的构造，即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后，也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动，并且还具备较高的耐久性，很适合用于ALD工艺。技术方案是一种金属隔膜阀，具有：阀身，在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座；金属隔膜，配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接；阀杆，升降运动自如地设在该金属隔膜的上方，使金属隔膜的中央部向下方下降；在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。
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