公开(公告)号：CN104870872B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380066772.9

申请日：2013-11-07

Applicant: 株式会社开滋SCT

Inventor： 山田靖仁

IPC: F16K1/226 ,  F16K1/228 ,  F16K31/524 ,  F16K31/54 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K1/226 ,  F16K1/221 ,  F16K1/228 ,  F16K31/524 ,  F16K31/54 ,  F16K51/02

Abstract: 使座环(12)与阀芯(11)接触分离，从而在流路本发明提供一种蝶式压力控制阀，其适合于 (4)内进行压力控制，并且阀开闭机构(10)设置在真空区域内进行压力控制的情况，通过来自相 为能够由相同驱动源进行驱动。同驱动源的动力发挥高密封性并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，以简单的构造实现了小型化。本发明中，阀开闭机构上旋转；座环(12)，其能够在流路(4)方向上往复运动而与阀芯(11)接触分离；凸轮机构(13)，其用于使座环(12)从阀芯(11)分离且使阀芯(11)旋转；以及往复运动机构(14)，其用于使座环(12)在阀芯(11)方向上往复运动，该阀开闭机构(10)通过凸轮机构(13)使座环(12)分离并且使(10)具有：阀芯(11)，其在与流路(4)垂直的方向

公开(公告)号：CN104870872A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380066772.9

申请日：2013-11-07

Applicant: 株式会社开滋SCT

Inventor： 山田靖仁

IPC: F16K1/226 ,  F16K1/228 ,  F16K31/524 ,  F16K31/54 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K1/226 ,  F16K1/221 ,  F16K1/228 ,  F16K31/524 ,  F16K31/54 ,  F16K51/02

Abstract: 本发明提供一种蝶式压力控制阀，其适合于在真空区域内进行压力控制的情况，通过来自相同驱动源的动力发挥高密封性并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，以简单的构造实现了小型化。本发明中，阀开闭机构(10)具有：阀芯(11)，其在与流路(4)垂直的方向上旋转；座环(12)，其能够在流路(4)方向上往复运动而与阀芯(11)接触分离；凸轮机构(13)，其用于使座环(12)从阀芯(11)分离且使阀芯(11)旋转；以及往复运动机构(14)，其用于使座环(12)在阀芯(11)方向上往复运动，该阀开闭机构(10)通过凸轮机构(13)使座环(12)分离并且使阀芯(11)无滑动地旋转，在使阀芯(11)旋转至闭阀状态时通过凸轮机构(13)、往复运动机构(14)使座环(12)与阀芯(11)接触分离，从而在流路(4)内进行压力控制，并且阀开闭机构(10)设置为能够由相同驱动源进行驱动。