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公开(公告)号:CN106246998B
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201610385761.2
申请日:2016-06-03
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor: 饭塚久修
Abstract: 提供一种构造紧凑、即使将活门连接在集成阀等的装置的密集场所处也不会向相邻装置干涉、是简单的构造、成本性良好并且不会损害手柄的形状及操作性、并且具备仅在阀闭时或阀开时的必要时能够进行手柄的上锁的误操作防止功能的带有上锁机构的活门和集成阀。前述带有上锁机构的活门,是在内置有用来将阀体开闭的阀轴的活门主体的上部转动操作自如地设有具有把持部的手柄主体的活门,在位于手柄主体的下方的活门主体的外周围的一部分上形成缺口台阶部面,在该缺口台阶部面内经由轴装接部转动自如地收纳具有上锁孔的上锁板材,并且设置为,当使该上锁板材转动到活门主体的全闭时或全开时的某个位置时能够使上锁孔面向活门主体的上表面区域来上锁。
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公开(公告)号:CN108692062B
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN201810272832.7
申请日:2018-03-29
Applicant: 株式会社开滋SCT
Abstract: 本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀,其仅用很简单的构造,即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后,也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动,并且还具备较高的耐久性,很适合用于ALD工艺。技术方案是一种金属隔膜阀,具有:阀身,在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座;金属隔膜,配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接;阀杆,升降运动自如地设在该金属隔膜的上方,使金属隔膜的中央部向下方下降;在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。
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公开(公告)号:CN108692062A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201810272832.7
申请日:2018-03-29
Applicant: 株式会社开滋SCT
CPC classification number: F16K7/17 , F16K1/523 , F16K31/1221 , F16K31/1225 , F16K31/1226 , F16K27/0236 , F16K47/08
Abstract: 本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀,其仅用很简单的构造,即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后,也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动,并且还具备较高的耐久性,很适合用于ALD工艺。技术方案是一种金属隔膜阀,具有:阀身,在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座;金属隔膜,配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接;阀杆,升降运动自如地设在该金属隔膜的上方,使金属隔膜的中央部向下方下降;在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。
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公开(公告)号:CN106246998A
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:CN201610385761.2
申请日:2016-06-03
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor: 饭塚久修
Abstract: 提供一种构造紧凑、即使将活门连接在集成阀等的装置的密集场所处也不会向相邻装置干涉、是简单的构造、成本性良好并且不会损害手柄的形状及操作性、并且具备仅在阀闭时或阀开时的必要时能够进行手柄的上锁的误操作防止功能的带有上锁机构的活门和集成阀。前述带有上锁机构的活门,是在内置有用来将阀体开闭的阀轴的活门主体的上部转动操作自如地设有具有把持部的手柄主体的活门,在位于手柄主体的下方的活门主体的外周围的一部分上形成缺口台阶部面,在该缺口台阶部面内经由轴装接部转动自如地收纳具有上锁孔的上锁板材,并且设置为,当使该上锁板材转动到活门主体的全闭时或全开时的某个位置时能够使上锁孔面向活门主体的上表面区域来上锁。
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公开(公告)号:CN115038901A
公开(公告)日:2022-09-09
申请号:CN202180013744.5
申请日:2021-02-08
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor: 饭塚久修
Abstract: 本发明在于,提供一种手动用隔膜阀,该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围,不会受到阀的内部形状的个体差异的影响,充分地确保全开时的流量,还能够任意地调整全开时的流量。阀本体1具备装配于主体10内部的阀体12和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体10并使阀体12与阀座14接触分离的主轴13,在阀本体1的上方,安装有对主轴13手动地进行旋转操作的手柄2,在阀本体1的上部附近,具备全开位置调整机构20,全开位置调整机构20限制手柄2的开阀操作侧的全开时的转动,设定阀体12的全开时的流量的上限。
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