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公开(公告)号：CN103837540A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310688026.5
申请日：2013-11-21
Applicant: 株式会社拓普康
Abstract: 检测因各种原因而发生的缺陷。本发明提供一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据探测试样S的缺陷。具有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；具有第一光源131、从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；具有第二光源151、从斜方向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用上述照明装置照明的试样S的基于显微镜120的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150具有对试样照射由应检查的缺陷原因决定的特定波长范围的照明光的第一波长选择结构132和第二波长选择结构152。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1788195A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200480012885.1
申请日：2004-05-17
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/95607 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G06T7/001 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供一种不需要标准图案的严密的位置对合，不会将合格品误判为不合格品，且能够抑制作为标准图案而应准备的基准图案部分的种类的增大的外观检查方法及标准图案以及外观检查装置。为一种对具有重复图案的检查区域(16a～16i)的外观，根据与设定的标准图案的比较而进行检查的方法及装置。将检查区域(16a～16i)划分为纵横的复数个视野区域，作为标准图案(17)，利用因所划分的各视野区域中所包括的检查区域(16a～16i)的每个边缘形状的不同而含有各边缘形状的彼此不同的基准图案部分(17a～17i)。本发明适用于对存储器和CCD(电荷耦合元件)这样的半导体芯片(16)的外观进行检查。
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公开(公告)号：CN102384918A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110258178.2
申请日：2011-09-02
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提供一种可使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物的检查装置。检查装置（10）具备：观察光学系统（11）、反射照明机构（12）、透射照明机构（14）、和可在保持粘贴有检查对象物（44）的带（42）的环状部件（43）的内侧从透射照明机构（14）侧保持带（42）的筒状的保持台（34）。透射照明机构（14）具有从保持台（34）的外侧向观察面（Fp）射出从光源（51）导光的透射光的射出部（53），在保持台（34）具有：透射部件（35），其呈在观察光学系统侧设有规定沿着观察面（Fp）的平面的平坦面（35a）的板状，而且允许从射出部（53）射出的透射光的透射；位置调整机构（37、38），其以可相对于保持台（34）进行有关观察光轴（Oa）方向的位置调整的方式保持透射部件（35）。
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公开(公告)号：CN102384917A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110258139.2
申请日：2011-09-02
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提供一种对于粘贴于带的透明的检查对象物也能够通过透射照明得到正确的信息的检查装置。检查装置（10）具有：观察光学系统（11），其将观察光轴（Oa）上的规定位置设为观察面（Fp）；反射照明机构（12），其从观察光学系统侧对观察面（Fp）进行照明；以及透射照明机构（14），其从观察光学系统的相反侧对观察面（Fp）进行照明。透射照明机构（14）具有：射出部（53），其射出从光源（51）导光的透射光；以及散射部（35b），其使由射出部（53）射出的透射光散射，散射部在透射照明机构（14）的透射光轴（Pa）方向进行观察距观察面（Fp）隔开规定间隔地设置，以便使观察面（Fp）的透射光成为规定的散射状态。
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公开(公告)号：CN103837078A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310717173.0
申请日：2013-11-21
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01B11/00 , G01N21/956
Abstract: 容易且详细检测试样表面的三维结构的缺陷。一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据检查试样S的外观检测缺陷。有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；有第一光源131从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；有第二光源151并从斜向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用照明装置照明150的试样S通过显微镜120得到的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150有对试样S照射不同波长范围的照明光的第一波长选择结构132及第二波长选择结构152，从不同角度照明试样S。
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公开(公告)号：CN100483118C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200480012885.1
申请日：2004-05-17
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/95607 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G06T7/001 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供一种不需要标准图案的严密的位置对合，不会将合格品误判为不合格品，且能够抑制作为标准图案而应准备的基准图案部分的种类的增大的外观检查方法及标准图案以及外观检查装置。为一种对具有重复图案的检查区域(16a～16i)的外观，根据与设定的标准图案的比较而进行检查的方法及装置。将检查区域(16a～16i)划分为纵横的多个视野区域，作为标准图案(17)，利用因所划分的各视野区域中所包括的检查区域(16a～16i)的每个边缘形状的不同而含有各边缘形状的彼此不同的基准图案部分(17a～17i)。本发明适用于对存储器和CCD(电荷耦合元件)这样的半导体芯片(16)的外观进行检查。
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