公开(公告)号：CN103837078A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201310717173.0

申请日：2013-11-21

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 上村拓人 ,  伊藤隆 ,  山崎敬

IPC: G01B11/00 ,  G01N21/956

Abstract: 容易且详细检测试样表面的三维结构的缺陷。一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据检查试样S的外观检测缺陷。有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；有第一光源131从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；有第二光源151并从斜向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用照明装置照明150的试样S通过显微镜120得到的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150有对试样S照射不同波长范围的照明光的第一波长选择结构132及第二波长选择结构152，从不同角度照明试样S。

公开(公告)号：CN103837540A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201310688026.5

申请日：2013-11-21

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 上村拓人 ,  伊藤隆 ,  山崎敬

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/06

Abstract: 检测因各种原因而发生的缺陷。本发明提供一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据探测试样S的缺陷。具有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；具有第一光源131、从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；具有第二光源151、从斜方向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用上述照明装置照明的试样S的基于显微镜120的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150具有对试样照射由应检查的缺陷原因决定的特定波长范围的照明光的第一波长选择结构132和第二波长选择结构152。