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公开(公告)号：CN110310904B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201811591031.3
申请日：2018-12-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种在减压干燥装置中以与期望的减压速度更接近的减压速度来进行减压处理的减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法。所述减压干燥装置通过在腔室内收容附着有处理液的基板并对腔室内进行减压，而使基板干燥。减压干燥装置具有腔室、减压排气部、对减压排气的流量进行调节的阀、对腔室内的压力进行测量的测量部及控制部。控制部的动作控制部包括：初始开度设定部，在各处理期间的起点将阀开度设为基准开度；以及反馈控制部，基于测量部所测量的测量压力值进行包含比例控制的反馈控制。反馈控制部在进行使阀开度大于基准开度的控制的第1状态下，根据目标压力值或测量压力值来变更比例控制系数。
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公开(公告)号：CN110779280B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201910573055.4
申请日：2019-06-27
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种即使在排气量小的情况下，也能够高精度地调节减压速度的技术。在本发明的减压干燥装置中，将腔室(20)内和泵(30)连接的排气配管部(40)具有在腔室和泵之间并列配置的大径配管(44)和小径配管(45)。小径配管的管径比大径配管的管径小。在减压干燥处理中，控制部能够在小径阀控制模式和大径阀控制模式之间进行切换，在小径阀控制模式中，使大径阀(440)的开度固定并调节小径阀(450)的开度，在大径阀控制模式中，调节大径阀的开度。由此，在减压排气量小的情况下，能够通过调节小径阀的开度而高精度地调节流路面积。在减压排气量大的情况下，通过调节能够大幅调节流路面积的大径阀的开度，能够响应性良好地调节减压速度。
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公开(公告)号：CN110779280A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910573055.4
申请日：2019-06-27
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种即使在排气量小的情况下，也能够高精度地调节减压速度的技术。在本发明的减压干燥装置中，将腔室(20)内和泵(30)连接的排气配管部(40)具有在腔室和泵之间并列配置的大径配管(44)和小径配管(45)。小径配管的管径比大径配管的管径小。在减压干燥处理中，控制部能够在小径阀控制模式和大径阀控制模式之间进行切换，在小径阀控制模式中，使大径阀(440)的开度固定并调节小径阀(450)的开度，在大径阀控制模式中，调节大径阀的开度。由此，在减压排气量小的情况下，能够通过调节小径阀的开度而高精度地调节流路面积。在减压排气量大的情况下，通过调节能够大幅调节流路面积的大径阀的开度，能够响应性良好地调节减压速度。
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公开(公告)号：CN110310904A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201811591031.3
申请日：2018-12-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种在减压干燥装置中以与期望的减压速度更接近的减压速度来进行减压处理的减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法。所述减压干燥装置通过在腔室内收容附着有处理液的基板并对腔室内进行减压，而使基板干燥。减压干燥装置具有腔室、减压排气部、对减压排气的流量进行调节的阀、对腔室内的压力进行测量的测量部及控制部。控制部的动作控制部包括：初始开度设定部，在各处理期间的起点将阀开度设为基准开度；以及反馈控制部，基于测量部所测量的测量压力值进行包含比例控制的反馈控制。反馈控制部在进行使阀开度大于基准开度的控制的第1状态下，根据目标压力值或测量压力值来变更比例控制系数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109411325A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201810754626.X
申请日：2018-07-10
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明的目的在于提供一种减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法。本发明的减压干燥装置通过将附着有处理液的基板收容在腔室内并将腔室内减压，而使基板干燥。减压干燥装置具有：腔室；减压排气部；阀，调节减压排气的流量；目标设定部，设定目标数据；表格数据取得部，取得表格数据，此表格数据针对规定的每个阀开度，示出由减压排气所致的腔室内的压力与达到此压力的达到时间的关系；开度决定部，根据表格数据及目标数据而决定实行减压干燥处理时的阀开度；以及动作控制部，控制阀开度。借此，无论装置的个体差或设置环境如何，均能以更接近所需减压速度的减压速度进行减压处理。
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公开(公告)号：CN112517321B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202010854635.3
申请日：2020-08-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种涂布装置、高度检测方法以及涂布方法，对基板施加浮力来在水平方向上运送基板并向基板供给处理液，高精度地检测与喷嘴的相向位置上的基板上表面的高度。涂布装置具有：运送部，从下方对基板施加浮力并在水平方向上运送基板；喷嘴，被定位在与被运送的基板的上表面相向的涂布位置并向基板喷出处理液；高度检测部，在基板的运送方向上，检测喷嘴的上游侧或下游侧的检测位置上的基板的上表面的高度；计算部，基于规定的换算特性，根据在检测位置检测到的高度，计算与位于涂布位置的喷嘴相向的相向位置上的基板的上表面的高度。换算特性是根据事先运送基板而在相向位置以及检测位置分别检测到的基板的上表面的高度的相关关系来预先求出的。
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公开(公告)号：CN112517321A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202010854635.3
申请日：2020-08-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种涂布装置、高度检测方法以及涂布方法，对基板施加浮力来在水平方向上运送基板并向基板供给处理液，高精度地检测与喷嘴的相向位置上的基板上表面的高度。涂布装置具有：运送部，从下方对基板施加浮力并在水平方向上运送基板；喷嘴，被定位在与被运送的基板的上表面相向的涂布位置并向基板喷出处理液；高度检测部，在基板的运送方向上，检测喷嘴的上游侧或下游侧的检测位置上的基板的上表面的高度；计算部，基于规定的换算特性，根据在检测位置检测到的高度，计算与位于涂布位置的喷嘴相向的相向位置上的基板的上表面的高度。换算特性是根据事先运送基板而在相向位置以及检测位置分别检测到的基板的上表面的高度的相关关系来预先求出的。
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公开(公告)号：CN108525942B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201810178987.4
申请日：2018-03-05
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: B05C5/02 , B05C13/02 , G01F23/292 , G01B21/08
Abstract: 本发明提供一种上浮量计算装置、涂覆装置以及涂覆方法。在使基板从载台上浮地进行搬运并向基板涂覆涂覆液的涂覆装置中，无论基板的种类，都能高精度地求出从载台上浮的上浮量。涂覆装置具有：板厚测定用传感器，检测吸附部件中的吸附基板的下表面的吸附面的铅垂方向位置和基板中的被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置；上浮测定用传感器，检测载台的上表面的铅垂方向位置和搬运至载台的上方的基板的上表面的铅垂方向位置；板厚计算部，基于吸附面的铅垂方向位置以及被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置来计算基板的板厚；上浮量计算部，基于载台的上表面的铅垂方向位置和基板的上表面的铅垂方向位置、计算出的板厚来计算基板的上浮量。
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公开(公告)号：CN108525942A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810178987.4
申请日：2018-03-05
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: B05C5/02 , B05C13/02 , G01F23/292 , G01B21/08
Abstract: 本发明提供一种上浮量计算装置、涂覆装置以及涂覆方法。在使基板从载台上浮地进行搬运并向基板涂覆涂覆液的涂覆装置中，无论基板的种类，都能高精度地求出从载台上浮的上浮量。涂覆装置具有：板厚测定用传感器，检测吸附部件中的吸附基板的下表面的吸附面的铅垂方向位置和基板中的被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置；上浮测定用传感器，检测载台的上表面的铅垂方向位置和搬运至载台的上方的基板的上表面的铅垂方向位置；板厚计算部，基于吸附面的铅垂方向位置以及被吸附部位的上表面区域的铅垂方向位置来计算基板的板厚；上浮量计算部，基于载台的上表面的铅垂方向位置和基板的上表面的铅垂方向位置、计算出的板厚来计算基板的上浮量。
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