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发明公开
衬底处理装置及衬底处理方法审中-实审

公开(公告)号：CN119480686A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411039516.7

申请日：2024-07-30

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 张松 , 況晨 , 樋口鲇美 , 筱原健介

IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , B08B11/00 , B08B7/00

Abstract: 本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置具备：至少1个剥离气体喷嘴，通过以第1速度向衬底的上表面喷出剥离气体，而以从衬底的上表面剥离的剥离部及与衬底的上表面密接的密接部包含在聚合物膜中的方式以剥离气体的压力破坏聚合物膜，然后，一边以小于第1速度的第2速度向衬底的上表面喷出剥离气体，一边利用进入到剥离部与衬底之间的剥离气体使密接部变化为剥离部；及喷嘴致动器，通过使至少1个剥离气体喷嘴水平移动，而使从剥离气体相对于衬底的上表面的碰撞位置到衬底的中心的距离变化。

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