公开(公告)号：CN110783166B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201910559676.7

申请日：2019-06-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 福原文人 ,  三林武

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种能够将多个基板在装置间统一搬运并在依次处理部及同时处理部适当地进行搬运及处理的基板处理装置。基板处理装置具有接受部、依次处理部、同时处理部和控制部。接受部接受附加有包括识别信息、位置信息和工艺信息的整体基板数据的多个基板。依次处理部依次搬运并处理多个基板(W)。同时处理部同时处理多个基板。控制部根据整体基板数据生成多个基板的每一个基板固有的个别基板数据，并根据个别基板数据控制依次处理部对多个基板的每一个基板的搬运及处理，当经依次处理部处理后的多个基板聚齐在出口位置时，根据个别基板数据生成整体基板数据，并根据整体基板数据控制所述同时处理部对所述多个基板的搬运及处理。

公开(公告)号：CN110783166A

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201910559676.7

申请日：2019-06-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 福原文人 ,  三林武

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种能够将多个基板在装置间统一搬运并在依次处理部及同时处理部适当地进行搬运及处理的基板处理装置。基板处理装置具有接受部、依次处理部、同时处理部和控制部。接受部接受附加有包括识别信息、位置信息和工艺信息的整体基板数据的多个基板。依次处理部依次搬运并处理多个基板(W)。同时处理部同时处理多个基板。控制部根据整体基板数据生成多个基板的每一个基板固有的个别基板数据，并根据个别基板数据控制依次处理部对多个基板的每一个基板的搬运及处理，当经依次处理部处理后的多个基板聚齐在出口位置时，根据个别基板数据生成整体基板数据，并根据整体基板数据控制所述同时处理部对所述多个基板的搬运及处理。