公开(公告)号：CN103384811B

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201280001496.3

申请日：2012-02-15

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐井旭阳 ,  姜友松 ,  小泽健二

IPC: G01B11/06 ,  C23C14/54

CPC classification number: G01B11/0691 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/547 ,  G01B11/0625

Abstract: 本发明提供一种光学式膜厚测量装置及采用光学式膜厚测量装置的薄膜形成装置，不用监视器基板就能够实时且高精度地直接测定产品的膜厚。光学式膜厚测量装置具备：投射部；受光部；基体保持单元内的将测定光向基体反射的多个内部分束器；对来自多个内部分束器中的最靠近的内部分束器的测定光进行全反射的内部光反射部件；将来自多个内部分束器的测定光向受光部反射的多个外部分束器；以及将来自光反射部件的测定光向受光部反射的外部光反射部件。被内部分束器及内部光反射部件反射的测定光在透过基体之后，被外部分束器及外部光反射部件反射并导向受光部，从而接收测定光。

公开(公告)号：CN103384811A

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201280001496.3

申请日：2012-02-15

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 佐井旭阳 ,  姜友松 ,  小泽健二

IPC: G01B11/06 ,  C23C14/54

CPC classification number: G01B11/0691 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/547 ,  G01B11/0625

Abstract: 提供一种光学式膜厚测量装置及采用光学式膜厚测量装置的薄膜形成装置，不用监视器基板就能够实时且高精度地直接测定产品的膜厚。光学式膜厚测量装置具备：投射部；受光部；基体保持单元内的将测定光向基体反射的多个内部分束器；对来自多个内部分束器中的最靠近的内部分束器的测定光进行全反射的内部光反射部件；将来自多个内部分束器的测定光向受光部反射的多个外部分束器；以及将来自光反射部件的测定光向受光部反射的外部光反射部件。被内部分束器及内部光反射部件反射的测定光在透过基体之后，被外部分束器及外部光反射部件反射并导向受光部，从而接收测定光。